本帖最后由 大君 于 2016-7-16 16:58 编辑
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+ r" K% t' x. ?" c9 ^各位大侠：
8 r( [" g1 b2 l- J ^$ K ~ 最近碰到一个很棘手的问题难以解决，在这里请教各位大大。: t( v5 M2 _# d* k5 c2 a% _
我们的技术是低温等离子体，是在真空腔里到达我需要的真空度后进气放电这么一个过程。（我们进的气是氨气）
/ t% P$ x/ L: r" h! e# N* R* ` 但现在遇到的情况是在运行十几次正常放电后，突然不进气就放电了，比如正常我是40pa的时候通过质量流量控制器进气，达到75pa时放电。后来40pa进气，就直接40pa放电，但流量计反馈的是进了气的。（这个是我装了质量流量控制器的问题）
8 \# p, X& S% H/ ~3 X 后来我就把质量流量计换成了转子流量计，出现了一个新问题。正常情况下到40pa的时候进气，我给转子流量计设定的值是9然后放电，但运行几次后流量计上的数值就下降到8，在运行几次到7，慢慢下降最后导致我不能放电。
+ \% O( e- o) d* _( | 这些问题我也咨询过厂家的一些人都不清楚这个情况，我也是第一次碰到这个情况。$ _( d+ x8 R. | n6 R0 F
在这里有没有专业人士给我解答下的 谢谢了
; T: |; X$ `+ { 还有就是我的腔体里面四周有四氟板和高硼硅玻璃加工件，再加2个不锈钢电极，我现在有点怀疑是真空腔内结构的问题。如果有专业真空的大大遇到过这个情况的麻烦教我下。在这里谢谢了
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发表于 2016-7-16 16:57:20
