关于真空腔室与进入气体流量不稳定的问题

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* {1 [* N9 S" h' ?; j3 z' @; I& j各位大侠：
# Q$ |& V, s7 K/ l/ ?7 y, u       最近碰到一个很棘手的问题难以解决，在这里请教各位大大。
7 u- m& u- u! q" F( o, J+ \       我们的技术是低温等离子体，是在真空腔里到达我需要的真空度后进气放电这么一个过程。（我们进的气是氨气）
* C% a3 Q2 {" a& l, c) J       但现在遇到的情况是在运行十几次正常放电后，突然不进气就放电了，比如正常我是40pa的时候通过质量流量控制器进气，达到75pa时放电。后来40pa进气，就直接40pa放电，但流量计反馈的是进了气的。（这个是我装了质量流量控制器的问题）
       后来我就把质量流量计换成了转子流量计，出现了一个新问题。正常情况下到40pa的时候进气，我给转子流量计设定的值是9然后放电，但运行几次后流量计上的数值就下降到8，在运行几次到7，慢慢下降最后导致我不能放电。
       这些问题我也咨询过厂家的一些人都不清楚这个情况，我也是第一次碰到这个情况。
0 X! k! o+ e& p8 t) a1 P. Y" d& o       在这里有没有专业人士给我解答下的     谢谢了
        还有就是我的腔体里面四周有四氟板和高硼硅玻璃加工件，再加2个不锈钢电极，我现在有点怀疑是真空腔内结构的问题。如果有专业真空的大大遇到过这个情况的麻烦教我下。在这里谢谢了
        
   
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