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楼主: 夜阑卧听

关于精密测量

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 楼主| 发表于 2015-5-18 20:06:49 | 显示全部楼层
樵薪 发表于 2015-5-17 18:05
$ V8 ]0 e5 d1 E( ?% h' [& j  r( j一定要用到光的干涉原理。

9 O) @. t, X8 R1 W3 |3 W9 s有详细的方案吗?  @) g4 t4 t' ^- ^4 @, F
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发表于 2015-5-18 20:15:27 | 显示全部楼层
夜阑卧听 发表于 2015-5-18 20:04
+ w7 G* F; i& K: j" n; ?激光准直仪的激光束至少有1mm吧,精度能满足要求吗?
+ l7 u) ^. V+ O' [' ^
用透镜组或者狭缝调节光束直径
) r+ u: Z/ u% K9 r8 H+ M& T& @
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发表于 2015-5-19 09:37:09 | 显示全部楼层
情况你描述的不太清楚啊? (检查两个薄片上的细缝是否对齐)是个什么概念? X,Y方向尺寸一致(在极小误差内)?你的检测精度是多少?um级???  对于这种大尺寸的,要达到um级别,只有机器视觉了,好的成像方案和高分辨率的相机组合。当然 成本还是挺高的。
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发表于 2015-5-19 09:43:41 | 显示全部楼层
本帖最后由 无痕叶 于 2015-5-19 09:47 编辑 ) _( v8 ]& f/ f- J  L/ U
* r" o( d- Q7 Y' d' b5 K  D2 `: [
你的薄片的尺寸?,缝隙尺寸?,这个很重要,    尺寸越大涉及到的难度越大成本越高。
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发表于 2015-5-19 16:11:46 | 显示全部楼层
CCD
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 楼主| 发表于 2015-5-19 19:02:17 | 显示全部楼层
无痕叶 发表于 2015-5-19 09:37   A6 @' V5 n6 D. w% Z5 N# k
情况你描述的不太清楚啊? (检查两个薄片上的细缝是否对齐)是个什么概念? X,Y方向尺寸一致(在极小误差内 ...

9 H7 d9 Q% x1 ?- n" v每个薄片直径约40mm,上面有均布的30μm的细缝。想要的结果是从一个薄片向另一个薄片投影,这两个薄片能够重合。误差必须在5μm以内
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 楼主| 发表于 2015-5-19 19:04:06 | 显示全部楼层
无痕叶 发表于 2015-5-19 09:43 2 b( j' C$ O+ ?# t1 b0 X7 j7 r
你的薄片的尺寸?,缝隙尺寸?,这个很重要,    尺寸越大涉及到的难度越大成本越高。
9 |1 T% K; X0 y0 z. S  L5 E/ Z
每个薄片直径约40mm,上面有均布的30μm的细缝。想要的结果是从一个薄片向另一个薄片投影,这两个薄片能够重合。误差必须在5μm以内8 X$ Q" i+ w/ `5 z: ~
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 楼主| 发表于 2015-5-20 20:45:14 | 显示全部楼层
各位继续讨论啊,我的问题还没解决, ^$ Q) a6 F7 j1 C6 a+ ]
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发表于 2015-5-27 11:25:11 | 显示全部楼层
本帖最后由 无痕叶 于 2015-5-27 11:33 编辑 4 v( d4 Z. U9 o* \  E
# D, H4 s( S% n* |% g
你这个的确是um级的检测精度, 误差控制在5um的话,最小分辨率就是1um的概念,我们倾向于用高一个数量级的分辨率作为以检测基准,从而保证最终的检测精度,目前我们在做一个0.5um级别的检测。) O$ Y2 ?  f) \6 L1 }2 Q( T
当然,还不清楚你的最终结果是用来做什么? 是用来控制尺寸合格吗? 对于你这种需求,我们检测上来讲一般是要设定标准模板,然后设置偏差参数,进行模板比对,只要成像上能满足精度,算法都是很成熟的,至于相机,镜头,光源这些要好好的选型。% ]5 B4 f  [8 {4 }  p/ `

! l9 T7 ]( p8 |* GPS: 我猜测你的产品可能是跟光有关的东西。如果是商业化,上规模的产品,可以私聊。
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 楼主| 发表于 2015-5-27 20:01:17 | 显示全部楼层
无痕叶 发表于 2015-5-27 11:25 % w7 X/ F5 Y" x
你这个的确是um级的检测精度, 误差控制在5um的话,最小分辨率就是1um的概念,我们倾向于用高一个数量级的分 ...

2 w2 E( U7 N7 }* j: z9 P您在北京吗?) v! c3 n: V, k; y/ f9 E
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