关于精密测量

夜阑卧听

樵薪 发表于 2015-5-17 18:05
2 n6 q6 D2 B+ V$ B8 x一定要用到光的干涉原理。

. Z. F0 W6 }' ^0 A* W8 e有详细的方案吗？
! O$ F2 I) R  ]/ k/ [( }0 s2 L

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夜阑卧听 发表于 2015-5-18 20:04
激光准直仪的激光束至少有1mm吧，精度能满足要求吗？

0 M- m5 j3 Q" x6 H/ J% s" s用透镜组或者狭缝调节光束直径
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无痕叶

情况你描述的不太清楚啊？ （检查两个薄片上的细缝是否对齐）是个什么概念？ X,Y方向尺寸一致（在极小误差内）？你的检测精度是多少？um级？？？  对于这种大尺寸的，要达到um级别，只有机器视觉了，好的成像方案和高分辨率的相机组合。当然 成本还是挺高的。

无痕叶

# j! H0 o4 P: R, R" ]
3 U9 }. i$ r- m你的薄片的尺寸？，缝隙尺寸？，这个很重要，    尺寸越大涉及到的难度越大成本越高。

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夜阑卧听

无痕叶 发表于 2015-5-19 09:37
情况你描述的不太清楚啊？ （检查两个薄片上的细缝是否对齐）是个什么概念？ X,Y方向尺寸一致（在极小误差内 ...

每个薄片直径约40mm,上面有均布的30μm的细缝。想要的结果是从一个薄片向另一个薄片投影，这两个薄片能够重合。误差必须在5μm以内

夜阑卧听

无痕叶 发表于 2015-5-19 09:43
# u: d+ Z9 O, R) D! }2 N你的薄片的尺寸？，缝隙尺寸？，这个很重要，    尺寸越大涉及到的难度越大成本越高。

每个薄片直径约40mm,上面有均布的30μm的细缝。想要的结果是从一个薄片向另一个薄片投影，这两个薄片能够重合。误差必须在5μm以内

夜阑卧听

各位继续讨论啊，我的问题还没解决

无痕叶

你这个的确是um级的检测精度， 误差控制在5um的话，最小分辨率就是1um的概念，我们倾向于用高一个数量级的分辨率作为以检测基准，从而保证最终的检测精度，目前我们在做一个0.5um级别的检测。
当然，还不清楚你的最终结果是用来做什么？ 是用来控制尺寸合格吗？ 对于你这种需求，我们检测上来讲一般是要设定标准模板，然后设置偏差参数，进行模板比对，只要成像上能满足精度，算法都是很成熟的，至于相机，镜头，光源这些要好好的选型。
8 V/ V( n9 [' f- p
PS: 我猜测你的产品可能是跟光有关的东西。如果是商业化，上规模的产品，可以私聊。

夜阑卧听

无痕叶 发表于 2015-5-27 11:25
你这个的确是um级的检测精度， 误差控制在5um的话，最小分辨率就是1um的概念，我们倾向于用高一个数量级的分 ...

您在北京吗？
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