关于精密测量

夜阑卧听 · 发表于 2015-5-18 20:06:49

樵薪发表于 2015-5-17 18:05 - k+ a+ K8 N7 x( _! E4 H8 S
一定要用到光的干涉原理。

有详细的方案吗？

fmdd · 发表于 2015-5-18 20:15:27

夜阑卧听发表于 2015-5-18 20:04 & m" d! C0 t ?/ d' S i
激光准直仪的激光束至少有1mm吧，精度能满足要求吗？

用透镜组或者狭缝调节光束直径

无痕叶 · 发表于 2015-5-19 09:37:09

情况你描述的不太清楚啊？（检查两个薄片上的细缝是否对齐）是个什么概念？ X,Y方向尺寸一致（在极小误差内）？你的检测精度是多少？um级？？？对于这种大尺寸的，要达到um级别，只有机器视觉了，好的成像方案和高分辨率的相机组合。当然成本还是挺高的。

无痕叶 · 发表于 2015-5-19 09:43:41

本帖最后由无痕叶于 2015-5-19 09:47 编辑

你的薄片的尺寸？，缝隙尺寸？，这个很重要，尺寸越大涉及到的难度越大成本越高。

zdlsjl · 发表于 2015-5-19 16:11:46

夜阑卧听 · 发表于 2015-5-19 19:02:17

无痕叶发表于 2015-5-19 09:37
: |$ p! y5 ~5 k! z4 b+ x0 U情况你描述的不太清楚啊？（检查两个薄片上的细缝是否对齐）是个什么概念？ X,Y方向尺寸一致（在极小误差内 ...

每个薄片直径约40mm,上面有均布的30μm的细缝。想要的结果是从一个薄片向另一个薄片投影，这两个薄片能够重合。误差必须在5μm以内

夜阑卧听 · 发表于 2015-5-19 19:04:06

无痕叶发表于 2015-5-19 09:43
6 h; ]& n& |5 N# J i你的薄片的尺寸？，缝隙尺寸？，这个很重要，尺寸越大涉及到的难度越大成本越高。

每个薄片直径约40mm,上面有均布的30μm的细缝。想要的结果是从一个薄片向另一个薄片投影，这两个薄片能够重合。误差必须在5μm以内

夜阑卧听 · 发表于 2015-5-20 20:45:14

各位继续讨论啊，我的问题还没解决

无痕叶 · 发表于 2015-5-27 11:25:11

本帖最后由无痕叶于 2015-5-27 11:33 编辑

你这个的确是um级的检测精度，误差控制在5um的话，最小分辨率就是1um的概念，我们倾向于用高一个数量级的分辨率作为以检测基准，从而保证最终的检测精度，目前我们在做一个0.5um级别的检测。
当然，还不清楚你的最终结果是用来做什么？是用来控制尺寸合格吗？对于你这种需求，我们检测上来讲一般是要设定标准模板，然后设置偏差参数，进行模板比对，只要成像上能满足精度，算法都是很成熟的，至于相机，镜头，光源这些要好好的选型。

PS: 我猜测你的产品可能是跟光有关的东西。如果是商业化，上规模的产品，可以私聊。

夜阑卧听 · 发表于 2015-5-27 20:01:17

无痕叶发表于 2015-5-27 11:25
* G9 F* r4 Q8 C C2 ~3 {你这个的确是um级的检测精度，误差控制在5um的话，最小分辨率就是1um的概念，我们倾向于用高一个数量级的分 ...

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