关于精密测量

夜阑卧听 · 发表于 2015-5-17 17:41:59

求助，有两个相同的薄片，间隔约1米，同一水平高度，互相平行，每个薄片上有多条细缝，细缝宽度约30μm，相邻细缝间隔约1mm。现在需要检测这两个薄片上细缝的重合度，（检查两个薄片上的细缝是否对齐）。请问哪里能够做这种检测，或者需要什么设备？

樵薪 · 发表于 2015-5-17 18:05:33

一定要用到光的干涉原理。

beautiday · 发表于 2015-5-17 18:06:35

三坐标？

龙游大海 · 发表于 2015-5-17 18:22:07

不知道你考虑过CCD没有？

凸轮设计与加工 · 发表于 2015-5-17 18:34:52

精密测量的事情还是去找计量局的问问

LIAOYAO · 发表于 2015-5-17 18:53:13

两个相同有多条细缝的薄片，间隔约1米，要检测这两个薄片上细缝的重合度。
可用的方式不是很多，如楼上说的三坐标或光的干涉原理，至于CCD则是外行人的选择。

比较简便是用经纬仪，机械行业或用激光校准仪。

fmdd · 发表于 2015-5-17 22:48:50

激光准直仪

xiaoson0216 · 发表于 2015-5-18 16:06:09

LIAOYAO 发表于 2015-5-17 18:53
& T. |5 ^* f& n' N. L& [两个相同有多条细缝的薄片，间隔约1米，要检测这两个薄片上细缝的重合度。
8 ]4 a' O" P0 h# `' t3 M可用的方式不是很多，如楼上说的 ...

光栅尺

baikenor · 发表于 2015-5-18 18:47:50

肯定是光学方法搞定了

夜阑卧听 · 发表于 2015-5-18 20:04:50

fmdd 发表于 2015-5-17 22:48 0 w) p5 Y1 D+ @, [" ~6 A! ?
激光准直仪

激光准直仪的激光束至少有1mm吧，精度能满足要求吗？

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