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泄露叠加和氦气检漏漏率转换,请教

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发表于 2014-6-12 14:10:07 | 显示全部楼层 |阅读模式
各位大侠好,最近在做氦检设备自动化的导入,有几个问题有些疑问,不知社区这边有没有高手可以帮忙指点一下。7 Y" G+ r! \, A+ ?
5 Z6 I2 v! C# V; p
1.泄露率转换的问题:如果要测试R22的泄漏率要求为1*10^-6Bar*L/S,那么如果用氦质谱仪检漏时,氦检设备设定的检漏标准是多少? 网上查询资料一说和气体的粘度有成反比,一说和其气体质量平方根成反比。 不知确切结果; F- d4 ?# q; `! W- i9 g

3 {: i" {1 s+ C$ c2.泄露叠加问题:即相同数量的氦气分子,不同体积的腔体内,如果其他条件完全相同的清下,氦检质谱仪测试结果是相同的,还是和体积有比例关系?
, Y6 u* H% M; m) {6 G' C: l$ |5 a$ Y$ N6 D* |' T

! b0 m$ a7 Y9 n以上还请大家帮忙看看,谢谢了。
+ D' F- ?! A( _/ ]  a* e! m

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