电容微位移传感器是通过什么来实现测量的，有什么方法？

xhy0716

电容微位移传感器是通过什么来实现测量的，有什么方法？

1 W) `. Y1 K+ J4 j* Y# n

baikenor

电阻应变形式的传感器一般是组成电桥，靠直流电压激励，当收到压力等信号时，电阻发生变化，两端输出压差信号
2 M* j# k6 V8 u; |- H
8 @+ V7 v! S; D! ?3 p! m电容由于直流无法通过，采用交流激励，电容在交流下有阻抗，这样就和直流激励电阻一样了，一样分析，当电容变化（介质变化，基板距离，大小变化）的时候，  两端也会有电压输出
- Z# S& v1 L: M2 B/ I
电感性的传感器也是交流激励，当电感的铁芯，或者线圈变化时，也会有电压输出


: h4 O9 g% ~" i4 f+ h* j- \