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机械社区»论坛 › 设计/自动化/电气/液压 › 机械设计 › 测晶圆温度分布均匀性的温度传感器适合用哪一款，可不可 ...
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查看: 334|回复: 3

测晶圆温度分布均匀性的温度传感器适合用哪一款，可不可以按要求定制？

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Adect
发表于 2025-3-22 01:02:08 | 显示全部楼层 |阅读模式
测晶圆温度分布均匀性的温度传感器适合用哪一款，可不可以按要求定制？

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yddbs
发表于 2025-3-22 13:59:33 | 显示全部楼层
我之前还是贴热电偶，然后热成像辅助
回复 问题专业，描述清楚 伸手党/灌水/看不懂

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ericshen12
发表于 2025-3-22 16:28:43 | 显示全部楼层
热成像相机
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一羊迁徙_a
发表于 2025-3-22 21:17:44 | 显示全部楼层
要测得准也只有热电偶一个选项吧
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