电容微位移传感器是通过什么来实现测量的，有什么方法？

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电容微位移传感器是通过什么来实现测量的，有什么方法？

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电阻应变形式的传感器一般是组成电桥，靠直流电压激励，当收到压力等信号时，电阻发生变化，两端输出压差信号
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  \, P4 d( G- A" \0 l/ C: g6 H电容由于直流无法通过，采用交流激励，电容在交流下有阻抗，这样就和直流激励电阻一样了，一样分析，当电容变化（介质变化，基板距离，大小变化）的时候，  两端也会有电压输出
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. O4 w5 L4 T! |; w电感性的传感器也是交流激励，当电感的铁芯，或者线圈变化时，也会有电压输出
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