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SEMI 文件

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发表于 2019-7-12 17:25:31 | 显示全部楼层 |阅读模式
那个大侠有这样的资料?搜索不到
· SEMI standard compliance to relevant AGT, AGV, PGV, AIV operations, access and integration standards – E81, E84, E87, E98, E101, E109
· SEMI S2 & S8 for safety and ergonomics
· SEMI E10-96 for Standard for definition and measurement of equipment reliability, availability, and maintainability
2 t6 o7 u$ T8 S; _4 N
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发表于 2019-7-13 08:31:13 | 显示全部楼层
这是标准,还是技术要求?
 楼主| 发表于 2019-7-13 08:32:23 | 显示全部楼层
远祥 发表于 2019-7-13 08:31
  |  z/ X9 s4 D$ Y9 G: N3 a这是标准,还是技术要求?

5 C$ y8 V3 O+ v7 s# o标准, F1 Z" E- y1 F3 t. P0 x' o
发表于 2019-7-13 16:19:43 | 显示全部楼层
某种通讯标准?
 楼主| 发表于 2019-7-16 19:10:43 | 显示全部楼层
未来第一站 发表于 2019-7-13 16:19
* Y% {. x! q  N2 e$ [4 G( s某种通讯标准?

$ b" D) \2 E2 U# W6 L国际半导体产业协会,
4 {: z9 l2 V7 _) o' ^6 u" B
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