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发表于 2018-6-27 08:16:53
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清洗最常见的是测表面张力,这个可以使用水滴角测试仪或者达因笔(不够准确,容易买到假货)。
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9 |+ b' L' I- l7 b+ `8 @, U看了你的描述,其实你现在最重要的不是药剂换药频率,水洗换水频率,而是首先确定这个纯水和药剂能不能在新配槽的情况下做出好的产品,然后再来谈换水频率 H* c% a) H* h
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纯水的PH不说,纯水机电导率需要控制在0.1以下,清洗机里的最后3槽的纯水电导率超过1就要换掉。. k( M# M% ]0 J) l" r# M
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点状掉膜和漏镀,这个不一定是清洗造成的,要将不良区域用显微镜放大来看,有可能是空气中的灰尘,周转小车的灰尘,或者治具/挂具退镀不彻底残留的灰尘,PVD设备没有做好清洁保养,PVD靶材的纯净度,膜层之间的结合力等等
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8 d7 G5 |6 [- n; m1 J如果只是一棒子把清洗打死,那么可能会走很多弯路 |
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