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《真空技术》PDF

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发表于 2008-6-15 11:51:17 | 显示全部楼层 |阅读模式
真空技术
) C+ j" y3 S0 r; |3 v作者:王晓冬 等编著
2 h' m' _( {; x! x出版社:冶金工业出版社
6 s! Y1 u: }9 g8 i原价:50" u8 M) i7 A9 V* C2 o
出版日期:2006-9-1
6 d" h; ~7 h! p4 X. U  N' ^1 mISBN:7502435719
( Q# p- O7 G7 r+ w2 _  V1 o字数:7300001 h2 ]9 J. I! i- A
印次:10 Z8 o7 }; ]' w6 x
版次:1
. o2 \6 P, u2 p1 f7 M2 b- f& H& w) e5 j+ W/ o, J) ?! s8 ]
内容提要
' Q1 {' ], \4 ?! p6 Q; S5 |9 F本书系统地介绍了真空技术的基础理论、真空获得设备、真空测量仪表、检漏技术、真空系统设计的原理和方法。主要内容包括:稀薄气体分子运动理论、吸附与脱附、真空中的电现象、真空中的气体流动、真空泵的分类与性能、容积式真空泵、动量传递式真空泵、气体捕集式真空泵、真空测量、真空检漏、真空系统的组成、真空系统元件及连接、真空系统中常用材料和真空卫生、真空系统的设计计算等。本书既注重真空技术中的知识体系,又反映真空技术中的最新发展,具有很强的针对性和实用性。 本书可作为高等院校真空技术与设备、过程设备与控制工程、材料科学与工程、物理等相关专业本科生、研究生的学习教材,也可供真空技术应用、真空设备制造与使用单位的工程技术人员参考。! M; r1 r6 z3 Q4 k; Q

0 G5 Q, t7 h6 r8 g8 ?5 X目录, z4 Z" I2 ?3 u
1 绪论
/ l" V; G# W+ e: C$ \) f# r: x1.1 何为真空
6 n% t: w% a4 i: {1.2 真空度的表征及真空区域的划分
8 ?* h* i# H2 @- a1.3 真空技术的历史回顾
& y4 |( K7 N' y5 ?1.4 不同真空状态下的真空工艺技术% L2 {  R/ J9 |
1.5 真空技术的应用领域& `* y( r1 J+ I! E
2 稀薄气体分子运动理论& P) b7 f- X8 O  g0 E
2.1 气体在平衡状态下的物理特性0 I9 P+ I- M" |. w
2.2 气体的迁移过程
( Y* [8 R: C! t/ K% h% g2.3 蒸发和凝结
) I8 L6 m1 C, e) c+ v, T0 Z3 吸附与脱附) Y! P) l$ |. t4 j9 Q$ D& t
3.1 吸附现象及吸附机理( A* ^9 U# }0 e* I* X: ~- a
3.2 吸附和脱附过程的描述; T& b8 G. I( ]0 S( B- r0 N
3.3 溶解和渗透  v1 q- Z8 i: _; `, j
4 真空中的电现象
$ l+ U" I! K6 U; H$ Q- `) ?/ V4.1 电子发射
# y+ B& m4 [5 @5 A0 A+ Z4.2 气体放电
' K( o7 D2 x7 p: s5 真空中的气体流动
1 f+ C- B. ~' ?+ L& B+ H* [4 @5.1 气体流动状态及其判别
: V. q3 v1 r! b: @0 g5.2 气体的流量和管道流导6 s; O( V* E$ C0 P  W2 |
5.3 简单管道的流导计算& k* O2 }' K' T+ n9 L( J+ \7 b3 _
6 真空泵的分类和性能
5 t7 A: _" k# ?6.1 真空泵的分类. W2 t* Q) c9 }: M
6.2 真空泵性能的表示法
8 b' P6 r9 O1 g& V6.3 真空泵的用途及使用范围
% [' h( S' l% @% t2 L6.4 真空泵的型号及规格表示法
: f5 ~* ]0 y3 \7 容积式真空泵% J" k- C) |# A# G/ S" K6 Y5 @7 s
7.1 液环真空泵
: [. I  P- a0 B  T* p% n" i3 p% o7.2 往复式真空泵
- F7 h* C! J1 p5 n- I& e7.3 油封机械泵
6 L* }* S# J+ R0 e, C, u5 Q. ~7.4 罗茨真空泵
5 h, d! t3 R( T% K4 V3 [, t4 A  U; B; G9 P7.5 干式真空泵
0 |  f' p# M* L9 k6 Y6 F$ e; @8 动量传递式真空泵. v: O; U& @- m. ]$ \
9 气体捕集式真空泵" x9 a% }2 c+ t2 B2 U) M; _
10 真空测量
: h- t$ }2 s# U. T9 f11 真空检漏
, N+ c0 s, T# Z/ `" J1 I12 真空系统的组成
7 q& J) p4 W; ^+ l, K5 T1 x) J13 真空系统元件及连接
* U: ]! a0 a& z- f1 a14 真空系统中常用材料和真空卫生
' W' P' L0 [; A4 g9 h, |15 真空系统的设计计算
! W# G5 l3 M& d/ o1 b参考文献
, V" Q2 S7 B3 C2 Q+ s/ E6 |, G
$ y' m! h6 R; I) v, W! z[ 本帖最后由 la999 于 2008-6-15 11:57 编辑 ]
未命名.JPG

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发表于 2008-6-15 14:52:15 | 显示全部楼层
楼主想必是真空技术专家,真空系列的资料真全,谢谢分享。
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发表于 2024-3-5 10:52:38 | 显示全部楼层
早期在社区活动比较频繁,现在依然有很大的收获,谢谢楼主和社区
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发表于 2024-4-17 13:32:29 | 显示全部楼层
1.对检漏方法的一般要求
$ x, K' F3 b- V  K. F(1)检漏灵敏度高,可以检出很小的漏孔;: R& C, b2 ^( y# q- A/ |, Q7 L, Q
(2)反应时间短,可以提高工作效率;/ f6 e- k3 V6 u) M6 Z0 t
(3)能定位、定量,即不仅能够找出漏孔的位置,还能确定漏率的大小,以便确定是否合乎质量要求;, t3 X4 V- `! T8 V) {
(4)能无损检漏,不使被检设备受到损坏和污染;
6 r" x# L' Z" n- _" v5 M(5)稳定性好,即保证足够长时间内灵敏度稳定可靠;
% |$ [. [! R! A7 _2 @7 A(6)所用“示漏气体”在空气中含量低、无毒、不腐蚀零件;
/ @4 @6 W( v/ a# C) [/ I) q& E( `( W(7)检漏范围大,从大漏孔到小漏孔都能检测,以减少检漏设备的数量和费用;
' G# H1 I. Y, J$ ]  k% O+ o$ C(8)检漏时应洁净无油,满足一些特殊要求。% }1 G; S! q* Q/ W
2.选择检漏方法的原则0 w: m, z$ E: q* s; }
(1)主要根据被检漏设备的允许漏率为依据,由于一个设备的允许漏率是很多漏孔漏率的综合,为找到一个单个漏孔,所选择的检漏方法的检漏灵敏度就要高于允许漏率1~2个数量级。如一个设备的允许漏率为10-11W,而必须选用的检漏灵敏度为10-12~10-13W;1 _* g$ U: g9 S3 s: K+ z4 ^) T% |
(2)根据具体被检对象,所用方法简便易行、经济实用。
& t3 P! E7 l6 I0 l% C$ R3.检漏方法的分类# @  z/ m9 O) U4 T7 _' N
按被检容器所处的状态可分为两大类,即加压检漏法和真空检漏法。! h- x1 |& W) g: N( Z. ?
(1)加压检漏法。在被检容器内充入一定压力的气体(称试验气体或者探漏气体)或液体,当容器上存在漏孔时,气体(或液体)便从漏孔中逸出,从哪里逸出,逸出量的多少等,就可判断有无漏孔存在、漏孔位置和大小。属于此类检漏方法有:: W: V5 |0 k) R7 e3 H7 R
水压法:将清洁的水压入被检容器中,一般水压在2~3个大气压左右,观察容器外壁有无水珠出现,根据水珠出现的位置大小和快慢,来确定漏孔位置和估计漏气量的大小。
) e  X& _( ]( ~' [$ R: _5 v2 x气压法:将试验气体(空气或其他气体)压入被检容器,在外面检查有无气体逸出,具体方法有:火焰、气泡指示法(水槽法、皂膜法);氨检漏法;卤素检漏仪和氨质谱仪吸嘴法和放射性同位素法。其中卤素检漏法是,金属铂在高温(常用850~950℃)下产生正离子发射(主要是碱金属离子),这种发射遇到卤素气体时急剧增加,依据这个现象可以制成一种检漏仪器,即卤素检漏仪。4 b1 I+ T( \5 K" D
铂的离子发射现象被设置在一个探头中,探头是一支二极电子管结构,加热丝、阳极及不锈钢阴极组成一间热式二极管,后部安装吸气风扇,使用时不断吸进气体,工作时二极管的阳极由灯丝加热到850~950℃,阴极对阳极加有250V负电压并收集正离子,离子电流由电子电路放大后,用仪表指示,考虑到检漏时无暇观察仪表指示
+ I. B# T" G& I5 U& _! E示漏气体多用氯的卤化物,如氟利昂、氯仿、四氯化碳等,其中以氟利昂无毒、不可燃、蒸汽压力高、灵敏度高被广泛应用。检漏时,卤素气体充于被检件内,用外探头在外部. d7 N/ m) m1 j% J; T
寻找漏孔。这种方法可检出10-9 Pa·m3/s的漏孔,工业产品一般为10-6~10-7Pa·m3/s。
* v4 ~" W0 l1 o6 T0 n% \$ I(2)真空检漏法。将被检容器内部抽空后,再把试验物质施于容器外表可疑位置。如有漏孔,试验物质便通过漏孔8 Y- h) r1 H) z7 C
进入容器,通过一些方法或仪器指示出来,从而可判断出漏孔的位置和大小。属于此类的方法有:静态升压法;放电管法;真空计法;氢-钯法;离子泵法;高频火花检漏法;卤素检漏法;质谱检漏法。其中离子泵检漏法是,溅射离子泵的离子流大小可反映真空系统真空度的高低,因此,类似于电离真空计的方法,用离子泵的电流指示可对系统或被抽容器进行检漏。这也是一种既简单又灵敏的检漏方法。
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