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《超高真空技术》PDF

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发表于 2008-6-15 11:25:45 | 显示全部楼层 |阅读模式
超高真空技术- g' v2 T) i2 P- {! t7 t  z- J
作者:邱爱叶,邵健中编著
' S9 w! e, s! h8 b0 {出版项:浙江大学出版社 / 1991.86 k/ ]' O- S7 L3 I, X7 l# q
原书定价:¥2.650 p, v: ^) O- n9 E5 I+ H" U/ P1 c* j
无装帧项:20cm / 241页! Y  H& \5 ?. E/ y- a
ISBN号:73080074** / TB751
) d! l- x) e" X5 b) }; B" b
4 c2 \% T  ]: T. M, M. u9 K[ 本帖最后由 la999 于 2008-6-15 11:27 编辑 ]

超高真空技术.pdf

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发表于 2024-3-5 10:53:18 | 显示全部楼层
好资料,感谢la999
发表于 2024-4-17 13:32:48 | 显示全部楼层
1.对检漏方法的一般要求# C6 }' b1 e% X7 ?
(1)检漏灵敏度高,可以检出很小的漏孔;8 x  \; P6 Y6 Q( l
(2)反应时间短,可以提高工作效率;
0 {4 B$ O8 f1 F(3)能定位、定量,即不仅能够找出漏孔的位置,还能确定漏率的大小,以便确定是否合乎质量要求;
2 W: B, ?0 p$ @1 M- M2 P0 s" t(4)能无损检漏,不使被检设备受到损坏和污染;' y! k( q+ \' J8 W& j+ X
(5)稳定性好,即保证足够长时间内灵敏度稳定可靠;4 d: n: q4 e# k; o$ `, B$ W
(6)所用“示漏气体”在空气中含量低、无毒、不腐蚀零件;
! O' \& _' {# B4 a" n(7)检漏范围大,从大漏孔到小漏孔都能检测,以减少检漏设备的数量和费用;; @2 {/ U/ ?: @1 I1 ]! B, T: |) z# ~
(8)检漏时应洁净无油,满足一些特殊要求。
5 P/ j; W4 u  E1 Y( D3 h" F4 a2.选择检漏方法的原则* ?% g) \4 O* L* G" e3 D' y$ z0 j
(1)主要根据被检漏设备的允许漏率为依据,由于一个设备的允许漏率是很多漏孔漏率的综合,为找到一个单个漏孔,所选择的检漏方法的检漏灵敏度就要高于允许漏率1~2个数量级。如一个设备的允许漏率为10-11W,而必须选用的检漏灵敏度为10-12~10-13W;
. `7 V: [$ L5 {+ {; v(2)根据具体被检对象,所用方法简便易行、经济实用。
( @6 ]& B( ~0 r5 G1 O1 j3.检漏方法的分类
* }4 s/ K$ H3 r  q) j1 K. G) q% D按被检容器所处的状态可分为两大类,即加压检漏法和真空检漏法。# ]) g9 N) ~0 K( z9 [" M
(1)加压检漏法。在被检容器内充入一定压力的气体(称试验气体或者探漏气体)或液体,当容器上存在漏孔时,气体(或液体)便从漏孔中逸出,从哪里逸出,逸出量的多少等,就可判断有无漏孔存在、漏孔位置和大小。属于此类检漏方法有:
2 O9 t) B$ o1 a8 d! e, E5 [水压法:将清洁的水压入被检容器中,一般水压在2~3个大气压左右,观察容器外壁有无水珠出现,根据水珠出现的位置大小和快慢,来确定漏孔位置和估计漏气量的大小。
# E4 d2 K" A3 S0 u6 r" l气压法:将试验气体(空气或其他气体)压入被检容器,在外面检查有无气体逸出,具体方法有:火焰、气泡指示法(水槽法、皂膜法);氨检漏法;卤素检漏仪和氨质谱仪吸嘴法和放射性同位素法。其中卤素检漏法是,金属铂在高温(常用850~950℃)下产生正离子发射(主要是碱金属离子),这种发射遇到卤素气体时急剧增加,依据这个现象可以制成一种检漏仪器,即卤素检漏仪。4 C$ ~5 E4 ?+ a5 o
铂的离子发射现象被设置在一个探头中,探头是一支二极电子管结构,加热丝、阳极及不锈钢阴极组成一间热式二极管,后部安装吸气风扇,使用时不断吸进气体,工作时二极管的阳极由灯丝加热到850~950℃,阴极对阳极加有250V负电压并收集正离子,离子电流由电子电路放大后,用仪表指示,考虑到检漏时无暇观察仪表指示
$ O# O( c9 Z$ T) y' X/ H示漏气体多用氯的卤化物,如氟利昂、氯仿、四氯化碳等,其中以氟利昂无毒、不可燃、蒸汽压力高、灵敏度高被广泛应用。检漏时,卤素气体充于被检件内,用外探头在外部
+ r& s/ c! o% N- B) v: z2 P寻找漏孔。这种方法可检出10-9 Pa·m3/s的漏孔,工业产品一般为10-6~10-7Pa·m3/s。
) O! q6 F  A8 k(2)真空检漏法。将被检容器内部抽空后,再把试验物质施于容器外表可疑位置。如有漏孔,试验物质便通过漏孔
' T  Q$ |) p0 F% y. M进入容器,通过一些方法或仪器指示出来,从而可判断出漏孔的位置和大小。属于此类的方法有:静态升压法;放电管法;真空计法;氢-钯法;离子泵法;高频火花检漏法;卤素检漏法;质谱检漏法。其中离子泵检漏法是,溅射离子泵的离子流大小可反映真空系统真空度的高低,因此,类似于电离真空计的方法,用离子泵的电流指示可对系统或被抽容器进行检漏。这也是一种既简单又灵敏的检漏方法。
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