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真空镀膜设备镀膜室体尺寸

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发表于 2015-9-11 09:02:38 | 显示全部楼层 |阅读模式
大家好:; r. @9 X% K/ {6 g7 A
       社区内有没有做真空镀膜设备的大虾,有个问题要请教。
  a5 R0 K  D+ h2 z: ~       七八十年代,日本做的真空镀膜设备腔体,是如图一所示,还是图二所示。图一是一个大半圆,图二是现在普遍的一种,半圆带两条平行的边。
* u# E9 L; y. U" B" h: d& O

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发表于 2015-9-11 10:14:04 | 显示全部楼层
钟罩要承受压力,图2优与图1。
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 楼主| 发表于 2015-9-11 10:41:50 | 显示全部楼层
mixin0756 发表于 2015-9-11 10:14 * i" n1 o$ Y! c9 V( R
钟罩要承受压力,图2优与图1。

; {/ @! M5 I% ^9 o谢谢,我是在改进日本的老机器的时候发现的这个问题,客户那边测量的尺寸,与图一相符,只是现在与常规(图二)不同,所以就想确认一下。! i& D# ?  _0 D1 L6 S0 E
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