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一个位置移动数显控制系统,要求5um。求大侠指正。

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发表于 2015-4-22 11:55:45 | 显示全部楼层 |阅读模式
我想设计个方案:直线位移精度5um。用光栅尺显示读数,并通过PLC发指令给伺服电机。不知道该套能不能达到约期效果。如下图所示:6 {& ~0 m- I$ x

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