真空泵声音很大---[求助]

gjytz · 发表于 2007-4-18 10:45:44

我公司等离子刻蚀机上用的＂莱宝＂真空泵最近泵的声音很大，震动不是特别大．新换泵油也不行，怎么解决？

yumin · 发表于 2007-4-18 22:58:39

1、你说的真空泵如果是旋片式机械真空泵，它的上部有一个滚花的旋钮，你把它拧紧试试。这个旋钮叫做镇气阀，在夏天空气特别潮湿时，真空度抽不上去，是因为真空室中的水蒸气排不出去，这时打开镇气阀，有意让部分空气进入真空泵再排出，通过它的吸附作用，把水气带出去，由于在真空系统中引入了空气，机械泵在排出时由于气体较多，气体冲击真空泵油产生很大声音。
2、如果你换的不是机械泵专用机油，而是汽车发动机机油，也会发出声响。

液压先锋 · 发表于 2007-4-22 21:19:44

＂莱宝＂选片式真空泵应定期保养：更换油过滤器及专用油。

gjytz · 发表于 2007-4-28 16:15:35

现在用的是＂莱宝＂专用泵油，每５天就换一次，旧油非常的黑，（镇气阀也拧过，不管用）　不知为什么？

老腰 · 发表于 2007-4-28 16:33:34

楼主，供参考
根据我们的经验,如果真空泵进口端直接抽大气的话,泵会有上述你描述的情况，很容量损坏泵.

液压先锋 · 发表于 2007-4-28 22:03:42

再次提醒楼主更换油过滤器；
拆卸真空泵，检查旋片是否卡滞或开裂。

yumin · 发表于 2007-4-30 12:49:56

你可以把进气口封住，开动真空泵，如果还有很大的声响，就是泵的问题了。

shiweishuji · 发表于 2007-5-30 21:09:48

真空能抽得上去吗
第二能不能检查一下膜片如果有的话
第三把皮带取下来看看是不是电机的问题

xcm718 · 发表于 2007-6-20 21:40:41

“现在用的是＂莱宝＂专用泵油，每５天就换一次，旧油非常的黑”
泵可能内部损坏了！送专业检修部门检查！

老腰 · 发表于 2007-6-22 00:26:05

原帖由 液压兔子 发表 * W* W" Z0 Y" O+ T! U “现在用的是＂莱宝＂专用泵油，每５天就换一次，旧油非常的黑”
泵可能内部损坏了！送专业检修部门检查！

请问楼主是用莱宝的哪一系列的真空泵?油变黑说明油里混入水蒸气等杂质,没理由5天就换一次的.

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