一个用于半导体行业的清洗方案，社友帮我看看可行吗

丹枫911 · 发表于 2014-5-25 21:15:39

一个用于半导体行业的清洗方案，用来清洗晶圆片，用高压水清洗，伺服电机带动晶圆片旋转，1000多转每分钟，晶圆片真空吸附，大家看看主轴旋转这个结构怎么样，基准板是焊接到机架上的，打算焊接后再加工一刀。

迷茫的维修 · 发表于 2014-5-25 21:19:26

没看清，感觉类似立车的主轴
你参考一下
再有就是，你想得到什么样的精度
选什么样的轴承
端跳，经跳
需要考虑什么工况，盘子会不会飘？
纯属瞎猜

走路empty · 发表于 2014-5-25 23:04:42

蓝宝石？
可以参考涂胶机清洗结构

亂试佳人 · 发表于 2014-5-26 08:31:06

我看错了，我以为你要清洗这个行业呢！

八点半 · 发表于 2014-5-26 10:47:32

就一个普通转台就行啊，也不需要太大的精度吧！

丹枫911 · 发表于 2014-5-26 22:54:48

八点半发表于 2014-5-26 10:47
就一个普通转台就行啊，也不需要太大的精度吧！

精度要求不高，主要动平衡要好，还有真空吸附要效果好

沉睡的红枫叶 · 发表于 2014-5-27 22:14:50

值得学习

desa2002 · 发表于 2014-5-28 08:29:51

学习

我很爱机械设计 · 发表于 2014-5-28 09:21:24

路过学习～

		自动登录	找回密码
密码			注册会员