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光学轮廓仪的测量精度怎样,与接触式轮廓仪比较呢?

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发表于 2014-3-8 14:31:18 | 显示全部楼层 |阅读模式
请教,光学轮廓仪的测量精度怎样?与接触式轮廓仪比较呢?
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发表于 2018-8-6 14:59:05 | 显示全部楼层
我又来赚威望啦!!!
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发表于 2019-8-27 10:32:07 | 显示全部楼层
目前光学测量分辨率能达到纳米级别
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