; k) v/ I* D+ L" C4 `& h z 李志坚
0 |! k' L8 N' K: I2 Z- A M E M S 一词由M i c r o E l e c t r o M e c h a n i c a l S y s t e m 的4 个字首组成, 可译为微电子机械系统。M E M S 的起源可以追溯到6 0 年代,1 9 8 9 年后M E M S 一词就渐渐成为一个世 界性的学术用语,M E M S 技术的研究开发也日益成为 国际上的一个热点。与M E M S 一词同时流行的还有M i c r o M a c h i n e (微机械)和M i c r o S y s t e m (微系统)。它们都以微小(M i c r o )为特征,有的强调机械,有的强调系统,但当前人们 常不加区别地与M E M S 通用。 ( \5 W" N2 O- \4 D: e: t
一般地说,M E M S 具有以下非约束性的特征: - z' I; x# n5 L# x
(1 )尺寸在毫米到微米范围之内,区别于一般宏 (M a c r o ),即传统的、大于1 厘米尺度的“机械 ”,但并非进入物理上的微观层次;
' ?& i/ U6 S+ ~6 _+ k8 W, E (2 )基于(但不限于)硅微加工(M i c r o f a b r i c a t i o n )技术制造; 6 p, B4 X1 ?7 y2 M" k7 E3 O
(3 )与微电子芯片类同,可大批量、低成本生产 ,性能价格比传统“机械”制造技术大幅提高; ' G, @! ~- p) ^+ N7 R& H
(4 )M E M S 中的“机械”不限于狭义的机械力 学中的机械,它代表一切具有能量转化、传输等功能的 效应,包括力、热、声、光、磁,乃至化学、生物能等 ;
' ~7 L @% F- p% S# ]/ a (5 )M E M S 的目标是微“机械”与I C 集成的 微系统———有智能的微系统。
, v+ m' F/ G. }" A5 q! x 用以上特征衡量,用微电子技术(但不限于此)制 造的微小机构、器件、部件和系统等都属于M E M S 范 围,微机械和微系统只是M E M S 发展的不同层次,有 关的科学技术都可统称为M E M S 技术。
$ D; J* T7 l% b5 d- [ 当前,信息技术已走上多媒体、网络化和智能化的 道路,微电子信息处理已向系统级芯片集成发展。无论 从微型化或性能价格比发展看,信息获取(传感)技术 和信息执行技术,即所谓“外部设备”技术都已成为发 展的瓶颈;它们与“主机”的接口(H I )也成为阻碍 处理速度的关键。M E M S 技术的目标是把信息获取、 处理和执行一体化地集成在一起,使之成为真正的系统 ,因此该技术对信息技术的革命意义是不言而喻的。对 传统的“机械学”来说,M E M S 技术不仅打开了“微 尺寸”新领域的大门,也是真正实现机电一体化的开始 。M E M S 被认为是微电子技术的又一次革命,对2 1 世纪的科学技术、生产方式和人类生活质量都会有深远 的影响。
: m7 G& A; k( ~' @4 W (原载《科技导报》9 /1 9 9 7 ,本文是一篇论 文的引言部分) 6 `. I/ q X3 F6 G3 K
《人民日报》(1 9 9 7 1 1 2 6 十版) |