菲科半导体（张家港）有限公司（PHT Robot Inc.）：提供EFEM・Sorter等晶圆搬运设备。
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北方华创：作为国内的龙头设备厂之一，北方华创在半导体设备领域有广泛的业务拓展。$ t4 V+ f) {, q# j' d
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中微公司：同样是国内半导体设备领域的领头羊，中微公司在刻蚀设备和沉积设备方面有较强的实力。
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+ `, X( ?! [- r. \% h$ ^盛美半导体设备（上海）股份有限公司：以半导体清洗设备和先进封装湿法设备为核心，近年开始进军沉积设备领域。
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2 J( Q& w) Q; ~! A& o% w威孚(苏州)技术有限公司：提供寻边器（Aligner），适用于直径最小2时至最大12吋的晶圆、玻璃等。
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北京纳兹精密科技有限公司：提供气浮转台等产品。
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地心科技：提供气浮系统，包括气浮转台，气浮轴承直线台，以及XY双轴的平面气浮产品等。
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上银科技（中国）有限公司：提供晶圆装卸机Load Port HLP系列，可共享8吋与12吋产品加载载出。- X* \7 {9 z2 R4 h2 V9 c- e* d
: J' `2 F2 b+ ]/ R( u1 f上海大族富创得科技股份有限公司：提供EFEM设备，包括圆装载系统（Loadport）、晶圆运输机器人（Robot）和晶圆对准器（Aligner）三大部件。
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& X' R! C* \5 o" u$ ~8 W- G苏州矽格纳科技有限公司：提供Wafer Aligner晶圆寻边器、Wafer Transfer晶圆转换器等产品。 |
发表于 2024-11-12 14:16:51
