菲科半导体（张家港）有限公司（PHT Robot Inc.）：提供EFEM・Sorter等晶圆搬运设备。
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! ^8 {3 R( [0 w4 h4 j, T8 E北方华创：作为国内的龙头设备厂之一，北方华创在半导体设备领域有广泛的业务拓展。. ^4 ?; U! g* U2 W2 ?
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中微公司：同样是国内半导体设备领域的领头羊，中微公司在刻蚀设备和沉积设备方面有较强的实力。: m+ \9 R8 P: j9 q& M' o
5 U2 p d+ n3 `, I% G2 A" `8 m盛美半导体设备（上海）股份有限公司：以半导体清洗设备和先进封装湿法设备为核心，近年开始进军沉积设备领域。
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+ |4 F0 x$ W! Q4 N% I) s威孚(苏州)技术有限公司：提供寻边器（Aligner），适用于直径最小2时至最大12吋的晶圆、玻璃等。
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北京纳兹精密科技有限公司：提供气浮转台等产品。6 V! R' Q# _6 s; M+ @
( m- g, K$ m) S- q1 n0 t地心科技：提供气浮系统，包括气浮转台，气浮轴承直线台，以及XY双轴的平面气浮产品等。, v, r0 t6 I4 H& }' C
7 n/ i4 Z8 W4 R上银科技（中国）有限公司：提供晶圆装卸机Load Port HLP系列，可共享8吋与12吋产品加载载出。
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/ g. P' g8 O( ?8 S3 N# e6 k! k2 L- L上海大族富创得科技股份有限公司：提供EFEM设备，包括圆装载系统（Loadport）、晶圆运输机器人（Robot）和晶圆对准器（Aligner）三大部件。
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苏州矽格纳科技有限公司：提供Wafer Aligner晶圆寻边器、Wafer Transfer晶圆转换器等产品。 |
发表于 2024-11-12 14:16:51
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