超精密机械设备设计与开发

养猪东篱下 · 发表于 2023-3-1 14:38:22

文不对题

帕肉赛斯 · 发表于 2023-3-1 16:52:08

怒砍一分

skyll · 发表于 2023-3-2 11:21:42

怒刷一分

喂我袋盐 · 发表于 2023-3-2 21:36:44

lz来点干货，怎样的超精密

寒寒thunder · 发表于 2023-3-3 11:01:31

怒刷一贴？？？

xfxywzy · 发表于 2023-3-9 10:11:28

目前的精密单方向平台，已经可以做到纳米等级的进给（1nm，100mm行程）。可能只有很少的行业会用到，价格也比较昂贵（10W RMB）。其中纳米等级的控制目前的难点在于驱动器，必须使用超高分辨率的驱动控制模块来控制。
现在有一个样品正在研究，品牌PI，可以去他们的官网看看，有余等级限制发不了链接，可以直接搜Physik Instrument. 有很多超精密控制的模组。

xfxywzy · 发表于 2023-3-9 10:36:45

发不了图片，具体的结构初步来看是需要2-3级调节。
第一等级是X-Y的粗调节，精度在±2um之内就行，第二等级调节就是PZT压电陶瓷调节，精度可以做到进给0.1nm,行程15um.

系统的空气主轴的性能也需要密切关注，因为碟片测试不仅仅有精度跳动要求（跳动越小越好 50nm以内），对轴也有速度控制要求（0.005%）。目前合适的供应商也在寻找中。

喂我袋盐 · 发表于 2023-7-13 11:01:33

xfxywzy 发表于 2023-3-9 10:36
# e/ g/ y* n3 D2 H- e发不了图片，具体的结构初步来看是需要2-3级调节。- s4 o- K( K$ I* `5 Z
第一等级是X-Y的粗调节，精度在±2um之内就行，第二等 ...

不知所云

328Feng_328 · 发表于 2023-7-13 11:04:58

愿闻其详！

长涯 · 发表于 2023-7-13 14:57:09

喂我袋盐发表于 2023-7-13 11:01; i& a: N6 Z8 F& U- [% |; o: w# W, f+ I
不知所云

应该是先用第一级运动单位，比较快速并且较准确的移动到制定目标点附近，然后第二级超精密运动单位精确控制检测点的位置吧

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