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硅片甩干的转速一般为多少?

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发表于 2021-12-4 21:16:58 | 显示全部楼层 |阅读模式
如题,单片式的湿法刻蚀机在刻蚀、用离子水清洗硅片后的甩干速度一般为多少呢?小于1000rpm需要多久的甩干时间啊有大佬知道吗

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发表于 2021-12-5 06:34:25 | 显示全部楼层
加温
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发表于 2021-12-7 22:08:17 | 显示全部楼层
这个最好是现场实物测量一下。。。
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发表于 2021-12-8 09:05:26 | 显示全部楼层
一般在2000-3000rpm 时间在30s左右 对于 8寸wafer
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 楼主| 发表于 2021-12-8 20:36:26 | 显示全部楼层
s453575112 发表于 2021-12-8 09:05
一般在2000-3000rpm 时间在30s左右 对于 8寸wafer

好的,谢谢您

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