一种硅片传输机械手

丹枫911 · 发表于 2013-5-30 20:28:49

种应用于半导体设备上的硅片传输机械手

gaolaodajiayou · 发表于 2013-5-30 22:13:17

看的不是很清楚，半导体行业真空用的很普遍，现在最牛逼的已经是让硅片悬浮移动。

长江漂流 · 发表于 2013-5-30 22:16:00

是用的非接触吸盘来吸取硅片的吧。

WAST1989 · 发表于 2013-5-30 22:42:44

gaolaodajiayou 发表于 2013-5-30 22:13 2 D4 L/ Q3 N w8 a% X* x. m
看的不是很清楚，半导体行业真空用的很普遍，现在最牛逼的已经是让硅片悬浮移动。

斗胆问大侠，悬浮移动是什么原理，也是控制气量吗？

xmdesign · 发表于 2013-5-31 07:14:30

WAST1989 发表于 2013-5-30 22:42 ; t& t& f2 b- e2 {9 S# v
斗胆问大侠，悬浮移动是什么原理，也是控制气量吗？

用的是中学物理实验的气悬浮方式，在传动展路过过一台成品机器的展位，可以控制前、后、左、右悬浮飘移

931673326 · 发表于 2013-5-31 21:20:48

看看

天气 · 发表于 2015-6-17 22:49:36

感觉稍显笨重。。。

bitter007 · 发表于 2016-7-19 16:59:35

xmdesign 发表于 2013-5-31 07:14; J1 @' }/ ~+ t( h
用的是中学物理实验的气悬浮方式，在传动展路过过一台成品机器的展位，可以控制前、后、左、右悬浮飘移& ~2 \0 r& H5 A
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展会上见过磁悬浮传动的

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