一种硅片传输机械手

丹枫911 · 发表于 2013-5-30 20:28:49

种应用于半导体设备上的硅片传输机械手

gaolaodajiayou · 发表于 2013-5-30 22:13:17

看的不是很清楚，半导体行业真空用的很普遍，现在最牛逼的已经是让硅片悬浮移动。

长江漂流 · 发表于 2013-5-30 22:16:00

是用的非接触吸盘来吸取硅片的吧。

WAST1989 · 发表于 2013-5-30 22:42:44

gaolaodajiayou 发表于 2013-5-30 22:13 " |' ~9 b1 L4 P, {8 Q9 H
看的不是很清楚，半导体行业真空用的很普遍，现在最牛逼的已经是让硅片悬浮移动。

斗胆问大侠，悬浮移动是什么原理，也是控制气量吗？

xmdesign · 发表于 2013-5-31 07:14:30

WAST1989 发表于 2013-5-30 22:42
5 _! z$ }5 @# }) s+ G% F3 J+ u斗胆问大侠，悬浮移动是什么原理，也是控制气量吗？

用的是中学物理实验的气悬浮方式，在传动展路过过一台成品机器的展位，可以控制前、后、左、右悬浮飘移

931673326 · 发表于 2013-5-31 21:20:48

看看

天气 · 发表于 2015-6-17 22:49:36

感觉稍显笨重。。。

bitter007 · 发表于 2016-7-19 16:59:35

xmdesign 发表于 2013-5-31 07:14
7 L; |$ d+ m) ^5 C* C. V4 P用的是中学物理实验的气悬浮方式，在传动展路过过一台成品机器的展位，可以控制前、后、左、右悬浮飘移
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展会上见过磁悬浮传动的

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