了解靶材的朋友进来聊聊把

jayrain · 发表于 2012-9-13 18:23:33

不知发这里合适不咯，对这一块确实是小白，和朋友聊他说国内的靶材不行。请了解靶材的朋友随便聊聊，行业情况、制造工艺、造好靶材的难度在哪里？

changkongceyi · 发表于 2012-9-25 09:13:40

靶材的杂质元素不好控制....

jayrain · 发表于 2012-9-25 20:52:26

changkongceyi 发表于 2012-9-25 09:13
; {1 v# k4 |" c7 ?! @* l L! Y4 W靶材的杂质元素不好控制....

这个有所听说，象杂质元素，那气孔什么的，还有里面气体组分影响大不

changkongceyi · 发表于 2012-9-26 08:19:03

jayrain 发表于 2012-9-25 20:52 2 s3 P H( c4 M a, C" m1 x: H$ E* n
这个有所听说，象杂质元素，那气孔什么的，还有里面气体组分影响大不

肯定会有影响，靶材气孔内气体参与溅射，那镀制的膜就有化合物成分，跟要求溅射的膜成分不一样，与基材的附着力也就有区别了，纯度肯定也就降下来了

jayrain · 发表于 2012-9-26 11:03:48

changkongceyi 发表于 2012-9-26 08:19 : s9 h9 k5 B2 D
肯定会有影响，靶材气孔内气体参与溅射，那镀制的膜就有化合物成分，跟要求溅射的膜成分不一样，与基材的 ...

前辈做哪块的？对靶材制造工艺这块有没有合适的书籍或手册，或者扫盲性质的也行。我现在对这个只有个大概粗略轮廓。

changkongceyi · 发表于 2012-9-26 16:03:54

{:soso_e127:}不敢当，我接触磁控溅射没多久，靶材说白了就是高纯度的材料（金属跟非金属），纯度其实就是冶炼跟加工过程中杂质元素的控制，个人理论书籍看看材料的就行，可以在社区材料论坛多晃荡晃荡，他们才是真的前辈跟高手

jayrain · 发表于 2012-9-27 08:55:23

changkongceyi 发表于 2012-9-26 16:03 0 r2 j+ w U3 v* X8 t6 r
不敢当，我接触磁控溅射没多久，靶材说白了就是高纯度的材料（金属跟非金属），纯度其实就是冶 ...

嗯，谢谢了。得看看。没搞过材料，感觉水还蛮深纳。

changkongceyi · 发表于 2012-9-27 09:47:54

jayrain 发表于 2012-9-27 08:55
* Y! n8 z1 y0 n& I1 e/ c嗯，谢谢了。得看看。没搞过材料，感觉水还蛮深纳。

呵呵，那就从铁碳合金开始吧，看完这个就知道铁靶的杂质元素、金相组织；然后就可以进一步思考：如何从工艺上提高靶材的纯度（影响因素会很多，想想就明白为啥国产靶材不如进口的了,这当然也是整个国产材料的现状....)

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