伏道俊 发表于 2019-7-12 17:25:31

SEMI 文件

那个大侠有这样的资料？搜索不到· SEMI standard compliance to relevant AGT, AGV, PGV, AIV operations, access and integration standards – E81, E84, E87, E98, E101, E109· SEMI S2 & S8 for safety and ergonomics· SEMI E10-96 for Standard for definition and measurement of equipment reliability, availability, and maintainability

远祥 发表于 2019-7-13 08:31:13

这是标准，还是技术要求？

伏道俊 发表于 2019-7-13 08:32:23

远祥 发表于 2019-7-13 08:31
这是标准，还是技术要求？

标准

未来第一站 发表于 2019-7-13 16:19:43

某种通讯标准？

伏道俊 发表于 2019-7-16 19:10:43

未来第一站 发表于 2019-7-13 16:19
某种通讯标准？

国际半导体产业协会，
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