浅聊下激光干涉仪测量协作机器人DD马达旋转精度
标准的协作机器人关节模组由角度编码器、直驱电机(DD马达)、驱动器、谐波减速机、刹车、扭矩传感器等元器件组成，DD马达摒弃了传统减速机构，将负载与电机转子直接耦合，成就了协作机器人流畅的关节运动。但这一革命性设计也带来了严苛的精度挑战：任何微小的角度偏差都被直接放大为末端执行器的轨迹误差！当协作机器人需要执行微米级的精密任务时，如何确保其核心动力单元DD马达的旋转精度达到角秒级？答案藏在一束激光的干涉条纹之中。
解决方案：SJ6000激光干涉仪+角度反射镜组+WR50自动精密转台，测量精度：±1″；分辨力：0.01″。
DD马达旋转角度测量示意图
测量流程：
将WR50自动精密转台固定在马达轴心，其顶部反设镜可相对基座反向旋转，反射镜始终与激光束角度锁定在0.5度内，转台每旋转5°，反射镜即反向旋转5°，此时软件将WR50的精密圆光栅角度值和SJ6000的角度值进行合并计算，得出马达实际转动的角度。
激光干涉仪测量结束后自动进行补偿，确保DD马达旋转精度符合要求。
补偿前数据
补偿后数据
从汽车工厂的装配线到无尘室里的芯片制造，协作机器人正以人类般的灵巧重塑产业。而在这背后，是以激光干涉仪为代表的精密测量仪器的默默守护，为协作机器人的安全高效精准运行保驾护航。
雷尼绍XR20 看起来是用于每台机器人最终标定，确定补偿值。
http://www.cmiw.cn/thread-453514-1-1.html
贴一篇旧贴。当绝对精度不够的时候，激光干涉仪能做什么事情？ 走江湖 发表于 2025-6-12 09:50
雷尼绍XR20
雷尼绍不是这样的
WR50自动精密转台,脱离激光干涉仪,独立旋转,绝对定位精度和重复性可以达到多少
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