呵呵~还是扬天师兄思路严谨。& q. a8 _6 n3 L0 |
我说的0.004μm的重复精度是指我做实验的那次的经验值。被测的是同一个环规的同一个位置。假如换个时间去测,也许会有所偏差,但是一个稍有耐心的技术人员20nm以内是能够保证的。; g4 C# Z# l. O6 Y2 K
这类超高精度的量仪对环境的要求都很高,被测工件的物理因素也必须考虑,调整适当的测力以满足不同要求。主要用来检定环规塞规~~~4 f! b3 j6 C. m/ ]/ E3 f6 \
% Q$ i! E" |, z! ~假如楼主的问题按精度(有效分辨率)划分,可分为低(10~100μ)、中(1~10μ)、高(0.1~1μ)、超高精度(。。~0.1μ)。大致上:
2 D! p% ~/ E* S& d& b0 s# E4 O尺类——低精度,其中千分尺等精度较高;
2 C; r% Z, V! I, H' B" Y6 x表类——中等精度,百分表精度较低;. i; }( i9 L) Y2 y
气动、电动等比较量仪类——高精度,也因厂家而异;; z5 Q. z6 I, a* _( P: A
光学量仪——中~高精度;
5 q! ]# A: a( r* t其他测长仪、高度仪、三坐标等不同产品精度跨度较大——中~超高。
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6 \0 L# J7 U% ]个人意见,欢迎补充或拍砖~~:)8 E" ?: P- y j& q: N( J" ]
4 Z2 p6 t1 N: p$ T" k: d$ d[ 本帖最后由 野兽飘飘 于 2007-12-13 17:27 编辑 ] |