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ASML是 Advanced Semiconductor Material Lithography的简称,中文名称为阿斯麦(中国大陆)、艾司摩尔(中国台湾)。艾司摩尔(ASML)为半导体设备供货商,成立于1984年,是从荷商飞利浦分割出来独立的半导体设备公司,总部设立于荷兰的Veldhoven。 ASML为半导体生产商提供光刻机及相关服务,TWINSCAN系列是目前世界上精度最高,生产效率最高,应用最为广泛的高端光刻机型。目前全球绝大多数半导体生产厂商,都向ASML采购TWINSCAN机型,例如英特尔(Intel),三星(Samsung),海力士(Hynix),台积电(TSMC),中芯国际(SMIC)等。% M- E) d. w' G9 m, g
ASML的产品线分为PAS系列,AT系列,XT系列和NXT系列,其中PAS系列光源为高压汞灯光源,现已停产,AT系列属于老型号,多数已经停产。市场上主力机种是XT系列以及NXT系列,为ArF和KrF激光光源,XT系列是成熟的机型,分为干式和沉浸式两种,而NXT系列则是现在主推的高端机型,全部为沉浸式。; Y8 a% ?2 ~) L5 L
ASML旗下机台设备不断推陈出新,在1984和1989年分别推出PAS 2000和PAS 5000机台;1990年推出PAS 5000 Stepper/Scanner;2000年推出Twinscan曝光机系统;2010年进入EUV系统机台。5 S3 X* J4 C; n2 l* R
ASML在2006年推出第1代的EUV机台,目前进入第2代的NEX 3100机台,此款机台预计只会出6台,年底前全数出货。之后会进入NEX 3300机台量产型的机台,其曝光速度和瞄准率高较高,目前已接获晶圆代工,和台、韩、美、日等内存制造商订单,预计2012年正式出货。* {/ {( w1 u% H. H3 d
截至2011年第1季底,ASML全球员工人数约7,400人,其中4,000人位于荷兰总部,在台湾林口分公司约700~800人。9 @6 b. B3 b' _0 @4 i+ D* O, B
ASML在2011年第1季营收为14.52亿欧元、净利为3.95亿欧元,机台设备出货量为63台;2010年营收为45.08亿欧元、净利为10.22亿欧元,机台设备出货量为197台。
2 F) b! S/ j9 p8 b" S$ G 在ASML各地区营收比重中,韩国占16%、台湾占28%、新加坡占5%、大陆占4%,美国市场占33%、欧洲市场占14%。
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应材,全称应用材料公司,成立于1967年。是一家全球领先的半导体、平板显示和太阳能光伏行业精密材料工程解决方案供应商。应用材料公司的技术使智能手机、平板电视和太阳能面板等创新产品 以更普及、更具价格优势的方式惠及全球商界和普通消费者。: s- B- G, K9 K: l9 w
自1967年成立至今四十多年来,应用材料公司一直都是领导信息时代的先驱,以纳米制造技术打造世界上每一块半导体芯片和平板显示器。目前,应用材料已进入太阳能面板和玻璃面板的生产设备领域。' O0 ^, @6 I! ]/ ~
应用材料公司在全球13个国家和地区的生产、销售和服务机构有13,000多名员工用高科技设备来推动全球纳米技术的发展。2005年,应用材料公司收入达70亿美元并连续14年在半导体生产设备领域独占鳌头。
9 O2 ~* V4 C! \1 k 1984年,应用材料公司在北京设立了中国客户服务支持中心,成为第一家进入中国的外资芯片制造设备公司。通过为中国的高科技制造业提供长期支持,应用材料公司在中国已经成为半导体、平板显示以及太阳能光伏制造设备与服务领域的顶级供应商之一。
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Lam Research为全世界第三大半导体设备商,总公司于1980年成立于美国加州硅谷、1984年股票于美国NASDAQ上市、电浆蚀刻设备为全球销售之冠、四十多家子公司遍及欧洲、日本、韩国、新加坡、台湾、中国大陆等世界各地。# u9 c+ G* `/ L9 A9 S6 u% F
科林研发(Lam Research Corp.)是面向全球半导体行业提供晶圆制造设备和服务的主要供应商。科林研发30多年来始终致力于推进半导体制造。科林研发是等离子刻蚀和单晶圆清洗技术与市场份额的领先厂商,科林研发凭借全面的专业技术解决目前最尖端的半导体工艺难题。科林研发总部在加利福尼亚州弗里蒙特,并有一个遍及北美、亚洲和欧洲的全球服务网络,满足全球客户群多种多样和不断变化的需求。
- S) Q# P G+ P% W% i1 j 作为半导体制造设备和服务给全球半导体行业的领先供应商,科林研发开发创新的解决方案,帮助客户构建更小、 更快、 功能更强大、 更节能的电子设备。! K% E# A4 A6 M6 G! C3 @% p% |" f
美国科林研发公司在上海和北京设立了分公司和代表处,主要负责中国区客户的售后服务。
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7 `3 k8 ~; ^9 |* _9 [% h ` 美商半导体设备大厂科磊(KLA-Tencor)成立于1976年,位于美国加州,是全球主要的半导体设备供货商,专精制程良率和提供制程控管量测解决方案,目前全球分公司遍布美洲、欧洲、亚洲等数10个国家,科磊在台湾分公司则是成立于1990年。5 Z7 y0 }& ^7 k8 | L6 U8 F
科磊第一台拥有操作和检测450mm(18吋)晶圆的制程控制系统Surfscan SP3 450,是全自动化非图形成像晶圆缺陷检测工具,针对检测20纳米制程或以下的线宽制程缺陷和晶圆表面的需求,可供450mm表面抛光晶圆和硅基(Epitaxial)晶圆的生产制程控制。
+ d1 z4 a0 [' {% Z. M7 W W 科磊投入先进制程设备开发,也包括电子束(E-beam)技术机台,台积电才表示未来在7纳米制程,会在EUV机台和电子束(E-beam)机台上做出选择,其中科磊是E-beam机台的合作伙伴之一,其他合作对象包括Mapper Lithography和IMS。
9 F8 B& d, @0 h/ q! N) o 在极紫外光(EUV)机台方面,目前最积极投入的是荷兰半导体设备大厂ASML,日前也获得台积电、三星电子(Samsung Electronics)和英特尔(Intel)的入股投资。 w2 g+ K$ ]& P8 O( m. b
KLA-Tencor China(科天中国)成立于1999年,隶属KLA-Tencor 公司旗下,针对中国独具特色的市场,旨在为半导体、数据存储、LED、光伏和后端封装等产业提供服务。Kla-Tencor在中国上海、天津、北京、苏州成立分公司或办事处,2003 年成立工程开发中心。- Q6 N7 p8 V1 M7 D( m
SCREEN 集团专职研究开发各项半导体设备、液晶生产设备及专业级印刷设备,其集团公司包含全世界共有数十个服务据点,足迹遍及台湾、日本、美国、欧洲、中国大陆、韩国、新加坡等地。
- I8 ?% X2 W- L0 m$ P 迪恩仕总部位于日本。从印前、印刷及相关设备到电子产业,迪恩士已在各个领域扩大了其业务范围。 在“发展思路”的公司的原则指导下,以核心图像处理技术为杠杆,不断努力开创着新的业务和产品。
, n# o9 ~2 [ F' X4 d" Y+ b; W; A 迪恩仕现在正在发展和生产印刷领域及世界领先的高科技领域的印刷技术数字化设备,如电子领域的半导体制造设备,FPDs (平板显示器)和印刷电路板。
B; I. ?# ]1 M/ ?1 b& }+ P( J 半导体和液晶产业市场情况的变化(周期)往往是高度活跃的,这也造成了迪恩仕公司的经营成果的上下波动。为了使3年中期经营目标更容易实现,在2006年3月,迪恩仕推出了“展望2008年( 2006年度至2008年) ”综合计划, 一个3年期的建立在“迈向新的发展阶段”主旨基础上的经营计划。这项计划的目标为持续的发展,这将使迪恩仕成为投资者眼中有吸引力的企业集团,同时也表达了迪恩仕对社会的承诺。
7 t$ p3 u# C; o+ F! X 廸恩仕科技提供各领域之半导体晶圆设备,包含洗净、蚀刻、显影/涂布等制程用途,其中洗净设备于半导体业界具有极高之市占率,同时随着半导体制程技术进步不断推陈出新设备产品。
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