光伏电池硅片的生产过程主要如下:
1 i' v! X# b8 ~" m- s7 u7 q: C, Z一次清洗,即扩散前清洗。主要通过NaOH.HF,HCL等对硅片进行腐蚀处理,完成去损伤层、制绒,去硅酸钠,去金属离子等工艺。 ( g0 p2 Z; K: f8 ~" `8 Z! X
扩散。在高温石英炉管内对硅片进行二次清洗前处理。
9 b# Y' [; f% f0 Q5 ` M% j- A周边刻蚀。在工艺室内的一定条件下是硅片的电压达到允许值。
5 [ {9 Z, y, R! Z$ Q( t" l' v二次清洗,即扩散后清洗。主要完成去磷硅玻璃、漂洗、喷淋、慢拉、烘干等工艺要求。 ' X: ^' B4 Y# A4 A( T
PECVD。在真空和高温条件下,对硅片去除水分和空气后镀膜。 N/ D5 q8 t; T
丝网印刷。对背电极进行印刷、烘干。 I2 S) c9 A7 H Z
烧结或固化。
: J* r) _2 ~, L, a" J测试。
* d- d/ U0 J; b6 k( d: O以上工序基本完成了电池硅片的处理过程,再经过焊接接线,组合装配等配套过程后,电池就可应用。 % l0 r% w1 t: R2 m& J( R1 j
' f* T' b( [1 z: O |