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CVD鑽石薄膜材料,中国人搞的

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发表于 2007-3-16 20:00:32 | 显示全部楼层 |阅读模式

3 _" K% O- l( M w2 o+ C

0 d( l- ~' s+ F) D' Y7 C) D% i# N* y5 m: B6 x8 l; J0 t* U$ h. j5 j' T1 o: E; e8 e2 t( w O; O/ r) d3 D# ^- Y- u" [ Z$ i1 f; C# @7 E7 g% E; a* P/ J/ Q* _* t+ f# U+ C2 g- f$ j) {/ C6 f. o3 f h, ~; x; b! {9 c/ i8 [2 z8 g- N* _ ^+ P! D2 Z! j. J9 d+ U4 X: ?; T. `5 u7 ?: X/ N; d+ Q* X; ]8 A1 n9 j* r8 A! E% j4 H/ |5 f5 H& l+ v* o( q5 P0 o' b) M3 s" r- p# Z+ h, V$ Z: d1 ]8 f' |: E% N w; t9 A+ d! g2 `: @; X5 c( G) r& C; n6 j; ~0 c/ k _3 }: N+ R$ Y$ X! z# F7 A0 Y+ T2 z6 @* }- K) S6 g4 j8 w3 Z V, L: Y% O0 N ?! P7 V9 o8 t V1 {+ a9 r0 l5 T! Q5 M& a! h- ^5 d' f; |, v$ G' z+ k8 A# Q5 \. z b8 }1 S) O% n; h8 i7 i* N& D1 f$ w; N' M, p. S2 f0 R L3 H+ s9 T' r& h6 v& }$ F: L$ D: ?3 b" l- x. U0 a/ t/ u) E% y: S, l; z
/ y/ V3 E' B/ u/ @

X - 光分析 ( XRD ) – shimadzu XRD-6000 ( 40kv30mAstep 0.02 deg.speed 4 deg. / min.fficeffice" />

9 J1 M; L7 B1 O) C) G8 H; j7 V

 or 1 deg. / min.)

# \" F0 p5 t4 z3 v l1 ^4 }9 o8 g

  ◎晶體結構

* I* U( r) N! k1 O3 @ @/ C2 a" `

  Cubic

3 O/ F7 M) Q3 o4 j4 b# L0 C4 c& _

  ◎空間群

: R0 T. j n9 @: W( f% v

  Fd–ffice:smarttags" />3m

3 c4 x6 \; }1 @9 y5 z. Q1 s

  ◎晶格參數(R.T)

$ O9 A1 Z; s' E+ V) v2 ~; U8 z j6 i

  (A) 3.570

2 j, L$ F) ^6 |5 H& {. p

  ◎密度(g/cm3)

2 l; x' |' |7 u* `

  3.508

9 l0 F7 y* C& \. b

  ◎晶面(111)

' k* c* a& s, M: U3 x3 c: l

  202

3 {: e- j8 U0 O9 O, X+ P/ G

粗糙度分析 ( SPM ) - Thermo Microscopes CP Research  ( 50 μm * 50 μm )

7 ]& d+ h$ D/ G5 s+ ~+ J) e

◎中心線平均粗糙面Ra ( Ave. Rough )

f+ _2 D7 K, @. D' R( t

總面積 / 底長86.39 nm霧面,1.052 nm亮面。

- q) C1 U( s! s" A

◎中心線均方根粗糙面Rq ( Rms Rough )

" Y/ @9 u4 \1 w0 t( ]

104.8 nm霧面,1.321 nm亮面。

, ^+ p) E9 W1 x

Rp 250.4 nm霧面,2.592 nm亮面,Rv 189.1 nm霧面,6.156 nm亮面。

7 D6 M) G8 I: C2 {6 N: k" p1 N0 \

◎高低差異值為 8 nm 亮面。

# M/ ^1 d) |- N# T7 q

 

+ ^9 N! @( r4 }( a/ p+ c* P

 

# \$ Q* }. u U2 x$ ^2 Q9 Y) y

 

( X3 h' n9 Q6 B' `

 

& s3 I) ] `* u a7 W

 

) `! c ^, I: ?% k4 P v

 

7 Q8 I+ n! m3 @# J5 l

 

( \% \8 Z5 X4 M6 Q Y M7 [

 

: w5 y1 |) N5 `" `

 

, |) ^- w* e$ @* }+ m& w

 

$ r( o9 d' t2 O. h( X

 

. O1 v |8 r& u# c

 

+ R9 W7 z+ U8 U* U' c2 F$ P

 

2 r+ C9 Z+ T) }( f; T( q9 J$ z& h

 

2 `5 o$ p' u4 W: g i

圖片:

1 \% }0 i8 g* w5 H4 q: @% R4 d, O* k

顆粒顯微分析一

6 ^, m+ U) B/ X/ ?3 p U; {

 http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/c75c1677bcef434a879d7d44eeaad6f9.jpg

) w( H K d' c& L$ @, `5 {% d! \

顆粒顯微分析二

; i& r8 N: }) D- o: X

http://images13.51.com/8/a/50/c6/jamesliu8029/002cc1a954517aaa99a89fa79f5630f6.jpg

" x' v- ?- Q+ K( K3 Q* i

顆粒顯微分析三

$ b9 r/ ]2 K: F2 w7 F

http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/77da81c0c62a779263590857a6c9a566.jpg

/ Q- a' s: Q/ d! o: C' g

顆粒顯微分析四

0 I) V; O, o/ f q

http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/f04619a8a3620c771d15dd9e2cde7c39.jpg

, B! T2 a" b; P& u) o

顆粒顯微分析五

5 j2 H+ Q" I6 N6 M

http://images13.51.com/1/a/50/c6/jamesliu8029/9c35afd2e5743f30280c0bdcde90541c.jpg

3 O# U$ W( ^* r( A+ ^" i; W$ u

顆粒顯微分析六

9 j! k! B3 o! i

http://images13.51.com/9/a/50/c6/jamesliu8029/45e49448cff9f6edffdd3dfc5fa04ad9.jpg

! H! F* Q( X: {8 S9 G# f9 i3 ?

顆粒顯微分析七

9 D% P: L3 f; L+ {( Y- D

http://images13.51.com/1/a/50/c6/jamesliu8029/aa0eb2392c3d8a47d29f8e3bb9cebd42.jpg

3 E \: ^; L. S/ p3 c0 |

 

6 h2 q \& M% @' h5 G

      

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 楼主| 发表于 2007-3-16 20:10:58 | 显示全部楼层

Re: 日本人行,中國人更行!!!

補充:$ N  M* _+ `2 \1 z8 G
這是完全由中國人研發並拋光完成的CVD鑽石薄膜材料
* f+ x' h, I0 k4 y$ a/ K3 H日本人做到2吋!!中國人做到4吋! X$ a- g+ X& ?7 \8 h# u; T' a! Y  l
圖一是鑽石膜晶片拋光品質. b% q8 ?0 t3 R$ W# y- ^) }/ ~2 r7 ]% r
圖二是拋光與未拋光之比較
0 P" U( t% y1 N# E圖三至圖七是電子顯微鏡照片
发表于 2007-3-16 20:25:53 | 显示全部楼层

Re: 日本人行,中國人更行!!!

呵呵,希望中国的各行各业都能像这样超过日本人~~~~
 楼主| 发表于 2007-3-20 23:50:30 | 显示全部楼层

Re: 日本人行,中國人更行!!!

為啥沒人頂??不懂材料特性??
9 Y( I; k: C" E# l& J- {3 _3 P我再補充一下!!!; `- I3 }: W- @% X* C/ K
鑽石的硬度在100GPA密度3.2g/cm3以上,熱傳導率1300~2100W/mK(銅397),比熱1.81J/cm3K(銅3.4),熱擴散率7.2~11.6cm2/s(銅1.16)
6 `; q; {, y3 @: P其散熱及不沾粘性是世界公認1 T3 R0 i0 v8 P
在電子應用LED上可替代藍寶石基材,可作IC等散熱片& d" @9 d* _; i5 _! Y+ O
在機械行業可用精密模具(如鏡片)、耐磨材料8 X5 m% c3 R% j* l( G$ L4 _
我的QQ是4731374044 E- k; c. L* X6 T
歡迎大家一起討論
发表于 2007-3-21 09:40:11 | 显示全部楼层

Re: 日本人行,中國人更行!!!

不懂不懂,请教:这种钻石薄膜是柔性的吗?可以做密封件吗?可以成型吗?是否有买?价格是否很贵?谢谢。
 楼主| 发表于 2007-3-21 13:17:02 | 显示全部楼层

Re: 日本人行,中國人更行!!!

原帖由 滴水天 发表9 T/ L) [5 J# i& y& D* ~2 i 不懂不懂,请教:这种钻石薄膜是柔性的吗?可以做密封件吗?可以成型吗?是否有买?价格是否很贵?谢谢。

) {/ x& m' N$ ]' _0 v1 X* @& E

這是平面剛性材料,因需拋光,才能達到1.052奈米的粗糙度,用於耐磨導靠零件,耐酸鹼,可替代所有超硬材料,現規格是四吋

+ x. x) ` r# \8 W8 q9 r- h7 |

可惜不是柔性的!!如有興趣研究者,可與我連系  

5 T0 B- i, q( s3 o

QQ: 473137404

发表于 2007-3-21 14:31:38 | 显示全部楼层

Re: 日本人行,中國人更行!!!

想了解下:使用什么设备(哪国的)来制造的?
 楼主| 发表于 2007-3-21 15:06:55 | 显示全部楼层

Re: 日本人行,中國人更行!!!

中國人自行開發的CVD設備

发表于 2007-3-21 15:22:17 | 显示全部楼层

Re: 日本人行,中國人更行!!!

只知VCD,CVD?液晶面板。。。?
 楼主| 发表于 2007-3-21 15:39:24 | 显示全部楼层

Re: 日本人行,中國人更行!!!

fficeffice" />化學氣相沉積技術(Chemical Vapor Deposition縮寫 CVD)

0 F; Y" U- o; n `: }

ffice:word" />化學氣相沉積是製造微電子元件時,被用來沉積出特定薄膜(film)的技術,所沉積出的薄膜可以是介電(dielectrics)、導體、或半導體。

4 q" I6 N2 ^# A

 

# v, \7 ]3 h: j

 

4 F7 O' r3 b5 ~! s, t. o5 i1 |

 

2 ~& k1 z+ K& Q

物理氣相沉積技術(Physical Vapor Deposition縮寫 PVD)

/ v1 W: O6 y: c4 C; S4 z3 P

物理氣相沉積應用方式與化學氣相沉積相似,主要有三種製程:蒸鍍(Evaporation Deposition)、離子鍍(Ion Plating)、濺鍍(Sputtering Deposition)及衍生性濺鍍。

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