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CVD鑽石薄膜材料,中国人搞的

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发表于 2007-3-16 20:00:32 | 显示全部楼层 |阅读模式

7 Y4 ~# t! L/ [/ s) p. ]& p; S

& ~( w7 [' ~2 \) L% D; S. h( ]6 e" [! G: c* S- D( z! G" c1 f) |) G- G/ p0 e, C9 i. K. J! J8 R0 r5 h, g% g% W6 y0 @. i' |1 v0 h3 j- v0 P3 K$ [' g/ }7 c5 T. ~2 j' I; S6 } ~0 ]: f f, z( n& ]+ l' _" d! s5 ~7 J6 R# R' R0 G' O/ }, T% }0 g+ [! P( |7 J0 B( ~4 o$ S! \$ z' L' ]$ `0 S) F) E/ w0 `% \: x9 L( s% S$ z, e; F' o* @, s, k( _3 d: _/ p$ p5 q# G' C* _& u% b6 }/ U3 v* C8 _" L, Q0 d! r: x0 j5 h8 O1 K$ |* a& _$ c" r2 M- {; {+ H$ W; N2 B$ | W8 X, ^' ^6 y( w3 p, y/ Y4 A/ m0 C- W9 M k5 a2 p6 y2 w. a/ j. o6 q( [" R" L) n4 z) v9 n! O( c! I( y! O7 P4 [4 p4 i* \; ?* G* f2 ]6 A# H; K5 X5 K/ O. |; D8 x M, ]9 E4 y* z6 u$ z/ y" t1 C' l: S- a) _" s1 @( W) G: B+ k% l9 k& g6 m! ~( w, [6 |; d2 H
) n' t$ B+ C/ f' M9 m! K8 ]! H

X - 光分析 ( XRD ) – shimadzu XRD-6000 ( 40kv30mAstep 0.02 deg.speed 4 deg. / min.fficeffice" />

! S9 X+ U' I, h& E- v

 or 1 deg. / min.)

/ l7 z. h9 r6 O8 [ l4 \4 X2 A6 I

  ◎晶體結構

; m! x. Y. n/ z% b7 g

  Cubic

% `2 H2 g. I8 n# \" i1 N: x

  ◎空間群

% u- B0 A+ X" c2 ~2 Q9 m

  Fd–ffice:smarttags" />3m

4 b- u( A5 s/ w3 D' o

  ◎晶格參數(R.T)

8 o- k, ~5 u% T' N& b6 u3 O) y* v

  (A) 3.570

6 a8 `, B3 E( n

  ◎密度(g/cm3)

+ r. f7 {4 U. U: l5 H: J

  3.508

1 I1 `: I5 ^7 x( g# y1 X

  ◎晶面(111)

/ a% I8 g( q4 K; X: ]# L

  202

) n5 [3 i7 ]0 u( r8 E% P! Z

粗糙度分析 ( SPM ) - Thermo Microscopes CP Research  ( 50 μm * 50 μm )

5 {, y6 D3 r) l1 X+ n

◎中心線平均粗糙面Ra ( Ave. Rough )

( C; k5 g$ x% M; ?

總面積 / 底長86.39 nm霧面,1.052 nm亮面。

$ |6 t+ O: V& ]/ G0 D. r0 b# a

◎中心線均方根粗糙面Rq ( Rms Rough )

$ `6 J( I! [( k+ @8 b* d

104.8 nm霧面,1.321 nm亮面。

! Y8 P5 b9 ?5 d/ O) P

Rp 250.4 nm霧面,2.592 nm亮面,Rv 189.1 nm霧面,6.156 nm亮面。

- ~! W" G$ ~' G0 H! U$ q

◎高低差異值為 8 nm 亮面。

# {- B+ c( e" z

 

& s5 p3 ~8 \0 |5 ~) f: a) l7 y2 z

 

" k5 q: B& H" K8 J% n& G) }* V+ I0 ?

 

& ^/ e- [, _+ c+ h6 Y

 

0 Y: Y: L# q# P! I' ?: d3 }$ ~

 

+ b& { i; v- n# q) y

 

! a$ j2 `$ u; j2 _2 a

 

+ U5 ]9 `. W$ l' g: b7 C$ {6 T

 

! J5 k+ Q- B& ~. C

 

, ]% S, T/ G7 q" Q) a& l

 

: f7 z/ @& E3 O

 

5 K! T7 i7 j/ w% v

 

$ Z& J% z7 X5 E( H a) t( X

 

% f) \. ]" |7 B0 R( o/ X9 T

 

: z2 l' c: y& R- T- Z

圖片:

# |6 m9 t# t0 S3 E _

顆粒顯微分析一

8 o5 f0 F5 \# z

 http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/c75c1677bcef434a879d7d44eeaad6f9.jpg

6 Q. W3 n" m4 F8 _. H# C G

顆粒顯微分析二

" b" x2 J7 w5 D- b

http://images13.51.com/8/a/50/c6/jamesliu8029/002cc1a954517aaa99a89fa79f5630f6.jpg

# v5 G1 ~) h' A. T# \

顆粒顯微分析三

" f5 `/ ~0 B9 w5 v

http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/77da81c0c62a779263590857a6c9a566.jpg

) B" k( t5 o7 ^

顆粒顯微分析四

) \: U1 {2 w9 P( L6 l2 i

http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/f04619a8a3620c771d15dd9e2cde7c39.jpg

, x' U2 p8 ^( G' ~6 N3 ~, H

顆粒顯微分析五

$ l: Z' ^' q$ I' Y

http://images13.51.com/1/a/50/c6/jamesliu8029/9c35afd2e5743f30280c0bdcde90541c.jpg

r0 V- ]6 |/ H' E

顆粒顯微分析六

2 R" {, G6 I: Y/ p8 B6 K6 G) h/ \

http://images13.51.com/9/a/50/c6/jamesliu8029/45e49448cff9f6edffdd3dfc5fa04ad9.jpg

; ^' q$ [! [( W

顆粒顯微分析七

0 A; J, y k: D' n1 m5 [, v( r

http://images13.51.com/1/a/50/c6/jamesliu8029/aa0eb2392c3d8a47d29f8e3bb9cebd42.jpg

# N4 J4 v: r+ }& V% Y& A4 B2 W

 

& e; R/ Q: i! l

      

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 楼主| 发表于 2007-3-16 20:10:58 | 显示全部楼层

Re: 日本人行,中國人更行!!!

補充:
3 s* K5 [8 L8 _/ t" V這是完全由中國人研發並拋光完成的CVD鑽石薄膜材料
( E' n: Y+ {! s: M* b) _日本人做到2吋!!中國人做到4吋
& }- Z& ?* u( _  W+ f: P. _8 G圖一是鑽石膜晶片拋光品質6 A) j2 M, L$ A
圖二是拋光與未拋光之比較
( t* _) L; i0 s+ ~/ ?! H圖三至圖七是電子顯微鏡照片
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发表于 2007-3-16 20:25:53 | 显示全部楼层

Re: 日本人行,中國人更行!!!

呵呵,希望中国的各行各业都能像这样超过日本人~~~~
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 楼主| 发表于 2007-3-20 23:50:30 | 显示全部楼层

Re: 日本人行,中國人更行!!!

為啥沒人頂??不懂材料特性??
2 g9 W( c  L- y, Y. b我再補充一下!!!9 Q( `  G% W" |8 D) D# ~; M% K
鑽石的硬度在100GPA密度3.2g/cm3以上,熱傳導率1300~2100W/mK(銅397),比熱1.81J/cm3K(銅3.4),熱擴散率7.2~11.6cm2/s(銅1.16)
7 U& L0 g' R0 i) j6 V其散熱及不沾粘性是世界公認: k+ _  l9 {9 r
在電子應用LED上可替代藍寶石基材,可作IC等散熱片
/ G* m$ m5 S& @% h; ^+ N2 G在機械行業可用精密模具(如鏡片)、耐磨材料
# I7 B8 I: S. L. u/ N9 m我的QQ是473137404
) D, I* w: M7 x8 V) F1 s, N歡迎大家一起討論
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发表于 2007-3-21 09:40:11 | 显示全部楼层

Re: 日本人行,中國人更行!!!

不懂不懂,请教:这种钻石薄膜是柔性的吗?可以做密封件吗?可以成型吗?是否有买?价格是否很贵?谢谢。
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 楼主| 发表于 2007-3-21 13:17:02 | 显示全部楼层

Re: 日本人行,中國人更行!!!

原帖由 滴水天 发表 _& }3 w4 o$ V- D W 不懂不懂,请教:这种钻石薄膜是柔性的吗?可以做密封件吗?可以成型吗?是否有买?价格是否很贵?谢谢。

! O4 h- o3 O1 K+ [4 H# k, L3 N

這是平面剛性材料,因需拋光,才能達到1.052奈米的粗糙度,用於耐磨導靠零件,耐酸鹼,可替代所有超硬材料,現規格是四吋

8 [' B- D+ Q) O2 o$ M

可惜不是柔性的!!如有興趣研究者,可與我連系  

& I. u' o3 f3 I8 e0 e( K0 k; Q

QQ: 473137404

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发表于 2007-3-21 14:31:38 | 显示全部楼层

Re: 日本人行,中國人更行!!!

想了解下:使用什么设备(哪国的)来制造的?
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 楼主| 发表于 2007-3-21 15:06:55 | 显示全部楼层

Re: 日本人行,中國人更行!!!

中國人自行開發的CVD設備

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发表于 2007-3-21 15:22:17 | 显示全部楼层

Re: 日本人行,中國人更行!!!

只知VCD,CVD?液晶面板。。。?
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 楼主| 发表于 2007-3-21 15:39:24 | 显示全部楼层

Re: 日本人行,中國人更行!!!

fficeffice" />化學氣相沉積技術(Chemical Vapor Deposition縮寫 CVD)

4 s, l z: H6 |! ^

ffice:word" />化學氣相沉積是製造微電子元件時,被用來沉積出特定薄膜(film)的技術,所沉積出的薄膜可以是介電(dielectrics)、導體、或半導體。

: ?3 D2 o8 P! {& t2 a- I# Y

 

1 Q3 Z4 p: u7 Y* s7 y

 

7 b: W" V, m C' j; S u7 o

 

. Y0 M4 B+ }. {* o% b6 A; i* }0 e

物理氣相沉積技術(Physical Vapor Deposition縮寫 PVD)

# N, t: i: F( h7 I5 K: F/ ~

物理氣相沉積應用方式與化學氣相沉積相似,主要有三種製程:蒸鍍(Evaporation Deposition)、離子鍍(Ion Plating)、濺鍍(Sputtering Deposition)及衍生性濺鍍。

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