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CVD鑽石薄膜材料,中国人搞的

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发表于 2007-3-16 20:00:32 | 显示全部楼层 |阅读模式

% ^3 T' i" v, }, y' o! W

2 P+ |' a: {% x& e/ @2 C1 x: c1 q1 E( {) V J6 `* A( O; {; E1 M" i0 R A' j, p! Y/ ?0 Y) t; a( j, l, [3 x% C5 P4 S6 l2 s! }9 e, c3 Y9 W* P A9 z+ W- l9 H. j/ S& e4 h; D$ s4 [" s/ f: S1 i" a/ H5 x; W7 O( h t: g3 o0 h6 h+ [1 |0 Z& j6 ^3 o. m" e- a9 ]+ F5 F0 U+ K2 F8 i6 w/ i3 o: P- b0 O7 s9 Q2 X7 {6 t8 k8 W0 i# g7 K q4 c9 ]. Y) g+ \+ |2 J( n/ |' s* x/ G0 s. O$ L* W' N6 T1 e1 D, Y& |+ v# c! C$ ?! S# ^: O9 h: m# O* z, d' |* Y% [0 H9 q- h" k& Z+ Z$ o% l$ |0 @# B4 T U' V# V4 w2 }% ^/ K @( v" U' b8 W' _) } G r+ g& n% U9 Y0 d* W5 B5 I, G- R9 h y# p$ m/ R5 Q* \" H& ~, F* j! l- J. I3 L" E+ c1 _: d/ u% f* I/ d) t. g, ?( `1 Y7 f4 c' a+ ?& Q$ [2 }$ [2 a; F1 R, h+ |3 C3 K, L4 a) p1 K5 l
% P6 v' N" n. |1 O: l

X - 光分析 ( XRD ) – shimadzu XRD-6000 ( 40kv30mAstep 0.02 deg.speed 4 deg. / min.fficeffice" />

. x5 o5 O* c. s$ W9 S) y/ ]

 or 1 deg. / min.)

" T1 u9 ^, A, F' r

  ◎晶體結構

9 \/ B) N8 U3 q, p/ o5 x3 Q1 U& @

  Cubic

4 s5 B9 b7 B/ }# o" o; e. z

  ◎空間群

[" ]( S! Z" G, s

  Fd–ffice:smarttags" />3m

` v* C3 h \9 Q

  ◎晶格參數(R.T)

" t2 J# `: i2 l4 x8 X( u- n$ o

  (A) 3.570

: [, Z. u4 @& K y* U& e

  ◎密度(g/cm3)

. e7 A6 K- z- F) k( f1 a2 {

  3.508

2 |# Z; d9 r/ \* {: q S4 H4 E2 V

  ◎晶面(111)

! L9 Z+ W2 J4 A+ ^

  202

3 V5 t5 ~9 Q0 g

粗糙度分析 ( SPM ) - Thermo Microscopes CP Research  ( 50 μm * 50 μm )

' j0 A. w+ a+ _

◎中心線平均粗糙面Ra ( Ave. Rough )

* W0 t" i+ D- V" p& u

總面積 / 底長86.39 nm霧面,1.052 nm亮面。

& q, a) e! y' D+ G! C+ ~: b

◎中心線均方根粗糙面Rq ( Rms Rough )

2 ]' g/ P8 ?$ a- Q

104.8 nm霧面,1.321 nm亮面。

& J. Z4 B2 R& ]& m

Rp 250.4 nm霧面,2.592 nm亮面,Rv 189.1 nm霧面,6.156 nm亮面。

# E" A" h+ k0 S, F5 R, O& y2 G+ C

◎高低差異值為 8 nm 亮面。

# \0 C- A! v, l

 

4 w! A+ _: c$ z" _/ o" Y1 H+ P

 

: j. M7 [$ M( C9 h2 M

 

1 U$ D7 b' r8 Z

 

3 C( H6 K6 C u* Y n

 

8 A4 C$ i9 N: U0 w" ]2 j

 

1 o0 _9 J7 O8 i; k& V8 o

 

9 @* b5 K, `6 B2 s0 I

 

8 q$ F9 o6 M9 s. [+ q' u4 G& m3 M

 

4 W) r$ x4 }% b# _) B

 

! _; t, {! a" m7 }% _. o) `

 

" H, j& O4 h1 _3 i ?

 

% m* W6 f* A6 J& @2 Q

 

* z& x% F$ F5 i5 N9 T1 v

 

+ a! ~6 \' Y$ T3 i* j r

圖片:

" M/ ?# D& W: V5 ^/ |. c

顆粒顯微分析一

- n/ [) J( U0 h$ `8 W

 http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/c75c1677bcef434a879d7d44eeaad6f9.jpg

: r) z1 Y1 w1 t- x. @

顆粒顯微分析二

; D# ^# d" }: `' D

http://images13.51.com/8/a/50/c6/jamesliu8029/002cc1a954517aaa99a89fa79f5630f6.jpg

2 l7 s: Y2 a9 j

顆粒顯微分析三

' P- h% X% [& } A

http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/77da81c0c62a779263590857a6c9a566.jpg

) G# s* [2 o7 w

顆粒顯微分析四

% Q' o5 ~; o& ?. V& |, \8 B* s% C9 B

http://images13.51.com/10/a/50/c6/jamesliu8029/f04619a8a3620c771d15dd9e2cde7c39.jpg

. s2 }* y$ P8 {6 j4 H) C- r

顆粒顯微分析五

$ R" d6 G* l$ V* _

http://images13.51.com/1/a/50/c6/jamesliu8029/9c35afd2e5743f30280c0bdcde90541c.jpg

# \7 i% o+ V0 C- d% |0 s

顆粒顯微分析六

|0 Q' x& E3 F [/ G4 H

http://images13.51.com/9/a/50/c6/jamesliu8029/45e49448cff9f6edffdd3dfc5fa04ad9.jpg

: k5 R5 Y6 Z* u& R- J) ]# o

顆粒顯微分析七

8 f$ ?* L/ G4 h6 E# q9 P

http://images13.51.com/1/a/50/c6/jamesliu8029/aa0eb2392c3d8a47d29f8e3bb9cebd42.jpg

$ a/ y N% c, J0 x& `5 O) m

 

0 R: t% }" J3 @( ^

      

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 楼主| 发表于 2007-3-16 20:10:58 | 显示全部楼层

Re: 日本人行,中國人更行!!!

補充:2 w7 i$ m/ p  g& p7 m
這是完全由中國人研發並拋光完成的CVD鑽石薄膜材料
" d" ^) t& G% w* \$ n4 l0 L0 q日本人做到2吋!!中國人做到4吋
  M$ C0 e" m7 Z4 q7 V. e$ x圖一是鑽石膜晶片拋光品質# G9 l, [6 a5 U5 |" W
圖二是拋光與未拋光之比較7 L5 Y! n- x1 w4 U
圖三至圖七是電子顯微鏡照片
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发表于 2007-3-16 20:25:53 | 显示全部楼层

Re: 日本人行,中國人更行!!!

呵呵,希望中国的各行各业都能像这样超过日本人~~~~
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 楼主| 发表于 2007-3-20 23:50:30 | 显示全部楼层

Re: 日本人行,中國人更行!!!

為啥沒人頂??不懂材料特性??
& }- M6 g" l& l$ w" q我再補充一下!!!" c; q3 R  [' Z( r% J
鑽石的硬度在100GPA密度3.2g/cm3以上,熱傳導率1300~2100W/mK(銅397),比熱1.81J/cm3K(銅3.4),熱擴散率7.2~11.6cm2/s(銅1.16)& p) g2 k/ h4 e' D- C) W
其散熱及不沾粘性是世界公認: L  b  o0 W2 K6 v3 }
在電子應用LED上可替代藍寶石基材,可作IC等散熱片/ U/ Q  ?$ |) i  d0 s
在機械行業可用精密模具(如鏡片)、耐磨材料
) j" M9 [  |! F) r# J# [- t我的QQ是473137404
! R/ B) _/ k* P9 X6 m+ K# p/ i5 p/ B歡迎大家一起討論
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发表于 2007-3-21 09:40:11 | 显示全部楼层

Re: 日本人行,中國人更行!!!

不懂不懂,请教:这种钻石薄膜是柔性的吗?可以做密封件吗?可以成型吗?是否有买?价格是否很贵?谢谢。
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 楼主| 发表于 2007-3-21 13:17:02 | 显示全部楼层

Re: 日本人行,中國人更行!!!

原帖由 滴水天 发表 " v" K+ S j0 `5 E7 F0 q 不懂不懂,请教:这种钻石薄膜是柔性的吗?可以做密封件吗?可以成型吗?是否有买?价格是否很贵?谢谢。

5 J2 d# }; t6 J) d& }7 r5 E1 ]3 b

這是平面剛性材料,因需拋光,才能達到1.052奈米的粗糙度,用於耐磨導靠零件,耐酸鹼,可替代所有超硬材料,現規格是四吋

* Q( C0 G6 u3 S+ D, b

可惜不是柔性的!!如有興趣研究者,可與我連系  

, j! o( w; e9 F3 l

QQ: 473137404

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发表于 2007-3-21 14:31:38 | 显示全部楼层

Re: 日本人行,中國人更行!!!

想了解下:使用什么设备(哪国的)来制造的?
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 楼主| 发表于 2007-3-21 15:06:55 | 显示全部楼层

Re: 日本人行,中國人更行!!!

中國人自行開發的CVD設備

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发表于 2007-3-21 15:22:17 | 显示全部楼层

Re: 日本人行,中國人更行!!!

只知VCD,CVD?液晶面板。。。?
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 楼主| 发表于 2007-3-21 15:39:24 | 显示全部楼层

Re: 日本人行,中國人更行!!!

fficeffice" />化學氣相沉積技術(Chemical Vapor Deposition縮寫 CVD)

& f- h/ y4 `, g2 K- O" A3 t; T

ffice:word" />化學氣相沉積是製造微電子元件時,被用來沉積出特定薄膜(film)的技術,所沉積出的薄膜可以是介電(dielectrics)、導體、或半導體。

7 F& M. ?- W( } o0 f) |" d j

 

9 C" B2 n# d2 t* Q& N

 

* l/ L9 |0 j% H

 

" j8 A* Y' I- ^, P

物理氣相沉積技術(Physical Vapor Deposition縮寫 PVD)

6 N9 Q4 i$ A1 t) S; d: G2 e, C

物理氣相沉積應用方式與化學氣相沉積相似,主要有三種製程:蒸鍍(Evaporation Deposition)、離子鍍(Ion Plating)、濺鍍(Sputtering Deposition)及衍生性濺鍍。

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