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真空机组搭配,请教

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发表于 2012-2-9 10:42:36 | 显示全部楼层 |阅读模式
假如需要给一个1000mm×1000mm×1000mm的真空室配一套真空机组,高真空,真空度要求能达到5×10e-3pa,采用分子泵加旋片泵的组合。7 |* I/ ^6 t+ c$ _4 A( C3 H
! y7 `5 J* n1 e2 f5 ~0 u
现在想知道的是:" O7 a, C8 U- {4 j
+ ?1 A+ c& l3 b6 F; p
一台抽速1300L/s的分子泵抽和10台抽速110L/s的分子泵抽,哪个效果更好?然后假如选用1300L/s的分子泵,前级旋片泵的抽速应选多大?
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发表于 2012-2-9 11:08:03 | 显示全部楼层
这个得计算,复杂也不负责,但得算,  g: z8 W. ?- ~% X& t

4 Q1 z$ A) c4 ?! j$ Z你算好了,也可以发上来,大家给你看看,猜谜是不行的,
 楼主| 发表于 2012-2-9 14:28:49 | 显示全部楼层
2266998 发表于 2012-2-9 11:08 4 q9 ^; F, A0 H- y
这个得计算,复杂也不负责,但得算,& W* Q& Z4 I- ^3 x8 j
8 [4 b: y7 q# M: g! [7 @' k
你算好了,也可以发上来,大家给你看看,猜谜是不行的,

+ f3 J# p3 b. o% b0 ]998大侠:如果前级抽到1000Pa的时候开分子泵,抽到1000Pa这个时间相对于整个抽气时间是不是可以忽略不计?按高真空下的抽气时间算,主要考虑真空室材料的出气率,但是这个材料出气率的表我没有...,还有就是10个110L/s小分子泵同时抽,是单纯的叠加为1100L/s吗?还有对于1300L/s的分子泵,查到前级选12L/s的泵就可以了。  @1 ^* o; P5 |0 `. V1 ~7 r1 ]& J

; Q7 h. ~8 T/ y" A- H
发表于 2012-2-9 14:35:47 | 显示全部楼层
晶戈铁马 发表于 2012-2-9 14:28 " f( ~7 n' V& Y3 z: ~1 F
998大侠:如果前级抽到1000Pa的时候开分子泵,抽到1000Pa这个时间相对于整个抽气时间是不是可以忽略不计? ...

& {; J7 a. U* s对于一个真空系统,你要计算,而不是估计,怎么玩,阿拉告诉你,
; s8 ^- p9 g* Y1 ^( U9 z/ D4 a; I, Z) T- L0 e
对于一种真空泵,有一个工作曲线,即在一定时间内,一定工况下,可以达到的真空度,这个还要结合工程热力学计算,因为随着抽气,温度是变化的,曲线也是变化的,这个要计算,
/ F2 x4 ^! A, t# ^8 |8 H1 g. `5 s# J8 E# H/ M+ R/ [4 V0 H
粗真空系统,到一个真空度,就没有效果了,这个要计算,比如升温,还可以继续抽气,这个要折算,
. L5 E& ~! C2 X1 |% C+ s
/ K0 j2 h9 v- m2 A) j& x转换的时候,要考虑阀的密封性,再计算细真空的抽气速率,* ]: v# p6 a# ~( Q" n
3 J  J( F7 D$ _# _
总之,这是技术工作,要每个步骤玩出来,不能估计什么东西,别人说的也未必对,尤其网上,胡说的非常多,说了也不负责,比如阿拉,哈哈,7 w3 }' w. t1 @3 H
# R8 b5 c( Q+ \! O
你按阿拉说的,每个步骤耐心玩吧,
+ n: i# }3 J" |+ ~9 j8 T

点评

当你不完全明白人家的工艺时,只能给人家建议,不能包办什么,对一个自己不完全了解的过程,说的过细了,后果是严重的,人家按你数据做了,造成大的损失,你负责吗?所以,你只能说技术的过程,实现他是人家的事情  发表于 2012-2-11 16:43
久久发,只对自己的技术负责。  发表于 2012-2-11 01:20
发表于 2012-5-30 16:54:05 | 显示全部楼层
根据楼主描述的真空腔体,是个不算大的,而且真空度要求也是中真空,很容易达到。
* `4 W2 U7 W0 I+ d6 H$ G
7 [8 F5 B8 n' r$ f! A7 E5 U- O对于这样的真空腔体,除非你有特别的抽气时间需求,否则选大泵和小泵都是一个样。另外如果楼主说的10台小泵采取分布式安装,那当然要好点,但分布式安装的其前级泵如何处理?
% r9 U9 H0 ?4 F9 V& j1 d* I, Z% N  A8 h# P+ y
所以啊还是根据腔体上开口尺寸选择一台分子泵+机械泵组合即可,建议分子泵选择600L/S的,前级泵选择6~8 L/S的就完完全全的满足要求了。4 V# {; V4 L; y3 t

' z% ~! J! I8 g) F: l$ B: B0 l! N再大的分子泵,你就会发现等机械泵抽到10~1 Pa后启动分子泵,还没等分子泵满转速频率,真空度已经达到你的要求了。呵呵# ]; S: N6 ?1 {' J8 R; t
" K: d! a( u1 f; z  c# u
1 z! C- Z. }! y
以上的前提是 真空腔体不存在大的泄漏,内部材料不存在大的漏放率。
发表于 2012-5-30 16:59:42 | 显示全部楼层
另外补充一点" |, f5 i: C6 y

4 U' P* P7 ?; y9 t) F% J9 L- y计算过程我就没帮你算了,你自己下载真空设计手册算算吧,有相应的章节
2 s. \$ U7 K. J: T- `9 k# G' y) I# z
- p+ F& j9 v0 G+ |计算选择什么样的泵所需要的抽气时间
( Q( D* Y  R0 [6 T* i" U" r3 G( [! l) \/ u
前级泵的选择等等。. x4 p3 X0 _6 l: c) l. K
0 G' i: v5 p4 v/ g
下载地址我找了个百度网盘的,正规的。
7 M+ ~4 _/ m, a' P* b; Y
4 d7 g+ w0 F7 t! W1 ]' [7 I: ihttp://pan.baidu.com/netdisk/singlepublic?fid=228853_149853622
. C) X8 |+ z  d: ~4 N$ L5 b
发表于 2024-3-5 10:40:36 | 显示全部楼层
网址已失效了,可惜了
发表于 2024-5-24 14:15:07 | 显示全部楼层
骆马湖铁匠 发表于 2024-3-5 10:40
9 z, A! E  H7 b! o% w% L$ U6 D( o网址已失效了,可惜了
* p* t' y8 m" f$ e3 S4 L5 D; `5 k
Mechtool,搜这个可以查真空设计手册,就是不能下载
( `* \$ F* j- x7 x6 C( O9 @. K4 x
发表于 2024-5-25 08:07:58 | 显示全部楼层
gunianyisheng 发表于 2024-5-24 14:15; L0 H# c7 l& y3 ]/ F1 O4 L3 Q1 d
Mechtool,搜这个可以查真空设计手册,就是不能下载
, Z% h$ Y  i: l& B7 K' }
谢谢大侠
" V/ k- ]2 ?/ o7 E/ N( ]7 c
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