真空机组搭配，请教

晶戈铁马 · 发表于 2012-2-9 10:42:36

假如需要给一个1000mm×1000mm×1000mm的真空室配一套真空机组，高真空，真空度要求能达到5×10e-3pa,采用分子泵加旋片泵的组合。

现在想知道的是：

一台抽速1300L/s的分子泵抽和10台抽速110L/s的分子泵抽，哪个效果更好？然后假如选用1300L/s的分子泵，前级旋片泵的抽速应选多大？

2266998 · 发表于 2012-2-9 11:08:03

这个得计算，复杂也不负责，但得算，

你算好了，也可以发上来，大家给你看看，猜谜是不行的，

晶戈铁马 · 发表于 2012-2-9 14:28:49

2266998 发表于 2012-2-9 11:08 ; W! J$ b. {% X) G' S. m# w
这个得计算，复杂也不负责，但得算，' g# R, j6 @3 @" H8 P8 C3 g, b

6 p) s4 I/ p7 k4 g, g你算好了，也可以发上来，大家给你看看，猜谜是不行的，

998大侠：如果前级抽到1000Pa的时候开分子泵，抽到1000Pa这个时间相对于整个抽气时间是不是可以忽略不计？按高真空下的抽气时间算，主要考虑真空室材料的出气率，但是这个材料出气率的表我没有...，还有就是10个110L/s小分子泵同时抽，是单纯的叠加为1100L/s吗？还有对于1300L/s的分子泵，查到前级选12L/s的泵就可以了。

2266998 · 发表于 2012-2-9 14:35:47

晶戈铁马发表于 2012-2-9 14:28
& b. u6 r$ A( Q- X) ^! E$ b: w998大侠：如果前级抽到1000Pa的时候开分子泵，抽到1000Pa这个时间相对于整个抽气时间是不是可以忽略不计？ ...

对于一个真空系统，你要计算，而不是估计，怎么玩，阿拉告诉你，

对于一种真空泵，有一个工作曲线，即在一定时间内，一定工况下，可以达到的真空度，这个还要结合工程热力学计算，因为随着抽气，温度是变化的，曲线也是变化的，这个要计算，

粗真空系统，到一个真空度，就没有效果了，这个要计算，比如升温，还可以继续抽气，这个要折算，

转换的时候，要考虑阀的密封性，再计算细真空的抽气速率，

总之，这是技术工作，要每个步骤玩出来，不能估计什么东西，别人说的也未必对，尤其网上，胡说的非常多，说了也不负责，比如阿拉，哈哈，

你按阿拉说的，每个步骤耐心玩吧，

喝水都发胖 · 发表于 2012-5-30 16:54:05

根据楼主描述的真空腔体，是个不算大的，而且真空度要求也是中真空，很容易达到。

对于这样的真空腔体，除非你有特别的抽气时间需求，否则选大泵和小泵都是一个样。另外如果楼主说的10台小泵采取分布式安装，那当然要好点，但分布式安装的其前级泵如何处理？

所以啊还是根据腔体上开口尺寸选择一台分子泵+机械泵组合即可，建议分子泵选择600L/S的，前级泵选择6~8 L/S的就完完全全的满足要求了。

再大的分子泵，你就会发现等机械泵抽到10~1 Pa后启动分子泵，还没等分子泵满转速频率，真空度已经达到你的要求了。呵呵

以上的前提是真空腔体不存在大的泄漏，内部材料不存在大的漏放率。

喝水都发胖 · 发表于 2012-5-30 16:59:42

另外补充一点

计算过程我就没帮你算了，你自己下载真空设计手册算算吧，有相应的章节

计算选择什么样的泵所需要的抽气时间

前级泵的选择等等。

下载地址我找了个百度网盘的，正规的。

http://pan.baidu.com/netdisk/singlepublic?fid=228853_149853622

骆马湖铁匠 · 发表于 2024-3-5 10:40:36

网址已失效了，可惜了

gunianyisheng · 发表于 2024-5-24 14:15:07

骆马湖铁匠发表于 2024-3-5 10:401 V/ d1 l" L+ O
网址已失效了，可惜了

Mechtool,搜这个可以查真空设计手册，就是不能下载

骆马湖铁匠 · 发表于 2024-5-25 08:07:58

gunianyisheng 发表于 2024-5-24 14:15' q! V) M' h8 T% B
Mechtool,搜这个可以查真空设计手册，就是不能下载

谢谢大侠

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