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Mahr和Zygo表面粗糙度,探索结果相差巨大!

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发表于 2010-12-4 02:39:29 | 显示全部楼层 |阅读模式
我用便携式Mahr轮廓仪测得的表面粗糙度和用Zygo 7100 Series 测得的表面粗粗度差的非常多(用的Ra-附件里打错了)。 初步分析了一下Zygo实测的一指定面积上的粗糙度,Mahr是测的一条直线上的粗糙度。不过有细微差别是可以接受的,现在差的非常大(附件)~4 w+ c2 Y& i. ~4 `# w+ T
会不会是因为Mahr轮廓仪的截至长度的影响?/ I- _- G8 e3 ]7 k  S
PS Mahr刚刚矫正过,没问题~
1 N- _5 L6 @% l% Y7 P! l% ~, a$ b, i* p- S$ {1 h: O3 {& ~
请教高手原因~
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发表于 2018-8-11 17:32:59 | 显示全部楼层
顶起来,楼主明白了吗
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发表于 2018-8-13 11:10:24 | 显示全部楼层
我又来赚威望啦!!
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发表于 2018-9-17 23:08:52 | 显示全部楼层
% M; c# Z, x9 M# x/ X0 S8 j% w- U
我又来赚威望啦!!
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发表于 2020-3-6 13:39:08 | 显示全部楼层
仪器不准吧
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发表于 2020-5-19 13:17:23 | 显示全部楼层
ZYGO也可以拉取线上的粗糙度的吧
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