真空泵的分类及应用

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1 L. _& ]4 x- p( i9 z; b真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。
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8 X# S* h- _4 W: U0 q6 }真/空/泵/分/类

8 V; c# d% ^5 T4 o9 E' p真空泵是最主要的真空装备、从产生真空原理上分为：容积式真空泵（如液环泵，螺杆泵，罗茨泵等）；动量传递式真空泵（如分子泵：喷射真空泵:扩散泵均属于此类）；气体捕集式真空泵（如钛升华、锆铝合金吸气泵、低温泵溅射离子泵、热蒸发钛升华泵等）
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; B: Y+ ]3 ?* m7 g按照国标：GB/T 3163-97《真空技术名词术语》具体分类如下：
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由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。
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任何真空泵，在工作期间除了抽气作用，总是伴随着出现一些破坏抽气的效应。例如，气体被压缩后要反扩散、分子被吸附后还会脱附等，这些现象称为气体的返流。只有在抽气作用强于返流时，泵才能有效地工作。因此每种泵都有自己的有效运用压力范围及固有特点。设计、制造及运用各种真空泵都是以加强抽气作用、抑制返流为目的的。

! B7 K/ }3 `3 ~, b" Y常用真空泵的类型及其应用范围

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骆马湖铁匠

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