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发表于 2020-4-17 09:34:59
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镀膜过程中产生喷点主要有以下几种原因:
6 _9 |$ e& H9 b7 b; F1、镀膜材料纯度不高，含杂质较多,预熔过程中无法将这些杂质去除,蒸镀过程中杂质溅上工件表面形成喷点。
# h6 z1 Y2 @1 ^/ R2 Z( A2、材料较为潮湿,预熔时电子枪光斑不能将表面的材料全部熔化,在蒸镀过程中也容易产生喷点(这种情况在用国产电子枪镀制MgF2及一些直接升华的材料时较易发生)。
' U+ A, j$ g ~0 o. T# D6 |5 _3、镀膜前对材料进行预熔时不够充分,蒸镀过程中材料里的细小颗粒溅上工件表面形成喷点。
7 d3 o5 N _1 E4、镀膜过程中,电子枪束流过大引起的材料飞溅产生的喷点。; p4 c+ u+ z: Y5 J" o: I- J
二、潮斑形成的原因:
) T- k, M h- Z6 b6 q& |& ]1、清洗液配比不好,含有较多水份,清洗后工件表面留有残迹,镀膜后形成花斑。
0 P5 }" f1 F8 B; g- u# v2、镀制两个面以上的工件时,一面镀制完成,清洗第二面时,镀制完的一面受到污染,在第二面镀膜后形成花斑。% ?+ n0 L" j0 Y1 @. _5 O
3、工件本身含有的水份(工件白片制作过程细解),在蒸镀前的烘烤过程中逸出,蒸镀后形成潮斑。) Q6 @ ^& C9 J
4、镀膜夹具在烘烤过程中会有水汽以及其它废气排出,蒸镀后在工件表面形成潮斑且对镀膜后的光学特性产生影响。 |
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