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发表于 2020-4-17 09:34:59
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镀膜过程中产生喷点主要有以下几种原因:
! |2 e! o6 c! e" b, }( x9 i1、镀膜材料纯度不高，含杂质较多,预熔过程中无法将这些杂质去除,蒸镀过程中杂质溅上工件表面形成喷点。. |4 g" |& _7 F5 A2 m+ i& q) O
2、材料较为潮湿,预熔时电子枪光斑不能将表面的材料全部熔化,在蒸镀过程中也容易产生喷点(这种情况在用国产电子枪镀制MgF2及一些直接升华的材料时较易发生)。
5 h e6 d1 @6 U- N5 Z& [9 i3、镀膜前对材料进行预熔时不够充分,蒸镀过程中材料里的细小颗粒溅上工件表面形成喷点。7 u% o) c2 b5 h- r: `
4、镀膜过程中,电子枪束流过大引起的材料飞溅产生的喷点。- J) ~% {* \0 O% T6 v' k7 M
二、潮斑形成的原因:
}& t; g3 I V. s& E) r7 t1、清洗液配比不好,含有较多水份,清洗后工件表面留有残迹,镀膜后形成花斑。/ B: z& g) Y. _! A
2、镀制两个面以上的工件时,一面镀制完成,清洗第二面时,镀制完的一面受到污染,在第二面镀膜后形成花斑。) u7 P% m. G. ^1 H4 T- g1 f" V$ E* q
3、工件本身含有的水份(工件白片制作过程细解),在蒸镀前的烘烤过程中逸出,蒸镀后形成潮斑。# j" `' J: {1 b' k' R& i
4、镀膜夹具在烘烤过程中会有水汽以及其它废气排出,蒸镀后在工件表面形成潮斑且对镀膜后的光学特性产生影响。 |
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