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发表于 2020-4-17 09:34:59
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镀膜过程中产生喷点主要有以下几种原因:
2 `' W% k a: |2 c1、镀膜材料纯度不高，含杂质较多,预熔过程中无法将这些杂质去除,蒸镀过程中杂质溅上工件表面形成喷点。1 t3 e0 i( t: f9 {& I
2、材料较为潮湿,预熔时电子枪光斑不能将表面的材料全部熔化,在蒸镀过程中也容易产生喷点(这种情况在用国产电子枪镀制MgF2及一些直接升华的材料时较易发生)。
7 p6 t4 C: E5 ^: K) |3、镀膜前对材料进行预熔时不够充分,蒸镀过程中材料里的细小颗粒溅上工件表面形成喷点。
4 Y4 M: V( c) c# U" Y _) v4、镀膜过程中,电子枪束流过大引起的材料飞溅产生的喷点。& x# K( [2 {+ k& ]" {+ F* c
二、潮斑形成的原因:
a, s% Q, m1 `2 _3 x5 N0 @2 g& W1、清洗液配比不好,含有较多水份,清洗后工件表面留有残迹,镀膜后形成花斑。
, c1 S" E# x$ Z+ j6 o0 a2、镀制两个面以上的工件时,一面镀制完成,清洗第二面时,镀制完的一面受到污染,在第二面镀膜后形成花斑。
; n+ O3 F3 G8 r. N3、工件本身含有的水份(工件白片制作过程细解),在蒸镀前的烘烤过程中逸出,蒸镀后形成潮斑。0 H+ G9 z2 h8 w4 [2 ]
4、镀膜夹具在烘烤过程中会有水汽以及其它废气排出,蒸镀后在工件表面形成潮斑且对镀膜后的光学特性产生影响。 |
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