忙了两个月，两台硅片清洗设备完成了。都是实验室用的，全部收动，但功能齐全。一台酸洗，工序主要为酸制绒，漂洗，酸洗，酸洗，喷淋；包含内循环过滤、冷却、氮气鼓泡、定量进排液等辅助工艺。一台碱洗，工序主要为碱清洗油污，漂洗，去损伤层，碱制绒，喷淋；包含内循环过滤、加热、氮气鼓泡、定量进排液等辅助工艺。拍了两张照片，一张为外观，一张为管路系统，请大家指教。