光伏电池硅片的生产过程主要如下:
0 A& g* Z4 ]9 t' J一次清洗,即扩散前清洗。主要通过NaOH.HF,HCL等对硅片进行腐蚀处理,完成去损伤层、制绒,去硅酸钠,去金属离子等工艺。
+ B; ]" B) k7 C0 K A0 l! n+ n: r5 N扩散。在高温石英炉管内对硅片进行二次清洗前处理。 # [, } r m; S6 z( G) n7 b, `
周边刻蚀。在工艺室内的一定条件下是硅片的电压达到允许值。
* h$ L k- D) F& Q7 {5 z二次清洗,即扩散后清洗。主要完成去磷硅玻璃、漂洗、喷淋、慢拉、烘干等工艺要求。
! H9 u" ^" L- H. ?: p: QPECVD。在真空和高温条件下,对硅片去除水分和空气后镀膜。
% j3 i; [1 U% O, J丝网印刷。对背电极进行印刷、烘干。
$ }* x8 P5 H7 l" Q4 S1 f( [# t+ y) G. Y烧结或固化。
8 C% p& P: B: `, U7 e O测试。 2 ~7 d+ @! u- P
以上工序基本完成了电池硅片的处理过程,再经过焊接接线,组合装配等配套过程后,电池就可应用。
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