半导体设备SEMI单开门尺寸规定

屿北

求问各位大佬，有知道半导体行业检测设备的尺寸标准的吗？想找一下单开门的最大尺寸是多少，找了好久没找到

fiyu1314

这还有标准？

屿北

fiyu1314 发表于 2024-5-14 15:09
1 Z  P0 x3 l3 \这还有标准？

不确定，我想单扇门总不能太大吧
, b7 S" D' V9 O# T1 t- n& f; r6 w

longjixie

600X800应该问题不大的

屿北

longjixie 发表于 2024-5-14 16:00
600X800应该问题不大的

" _* B: Y' `- y  g; y我想设计一个800*800的，心里没底
1 w7 S+ U9 ]& r; y" n

会说谎的小先生

一般不是很大

继续在

保证不摆动变形就行，实在不行加加强筋，主要还得考虑开门后占的空间，不能产生其他不良影响，比如靠墙开不了那么大或者太大挡住人行通道

狸浮

我只知道SEMI认证对于设备的电气控制柜有一些设计要求，电柜门的要求包括开关权限限制、尺寸限制、开门角度限制等等。而对于其他地方的门板的，好像是没做要求。
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补充内容 (2024-5-21 13:35):
查了一下个人笔记：“电气控制柜建议门宽不差过900mm，并使用铰链，开门角度至少95°；开门需用钥匙或其他工具、或柜门连锁断电开门，若无钥匙无连锁，电柜内部带电体应满足IEC 60529标准中IP2X等级”