849519836 发表于 2019-7-4 20:12:22

用燕尾槽密封，还有检测腔体密封不用那么复杂，通正压（不要太大压力），在外面用洗衣粉水涂在你腔体外面，哪里有气泡哪里就漏气。我们做高真空腔体都没你说的那么麻烦，5pa以下。效果绝对杠杠的。找到了漏气点，就不用我教你了吧

东海fyh126 发表于 2019-7-5 07:35:10

环槽密封，，，，，，，

ywjianghu 发表于 2019-7-5 09:39:56

Shawn_MeQFQ 发表于 2019-7-4 19:03
M5螺栓，间距100mm，压板为铝制件，厚12mm

主观判断：压板刚性差，螺栓稀，导致硅胶受压的时候不均匀。装配细心，拧螺栓的力均匀，让胶垫平整密合。另外，抹真空油脂辅助（几Pa这个级别上，其实无需）。
0.1Pa 以下才叫高真空。
另外，楼主拥有氦质谱仪，让人眼红。

蘑菇23 发表于 2019-7-5 11:17:13

密封腔的形式改一下，平板零件铣个凸台，箱体槽深配合控制一下

蘑菇23 发表于 2019-7-5 11:21:55

还有一种密封圈是充气密封圈，楼主了解一下

veyron0825 发表于 2019-7-6 08:33:14

楼主牛呀，太感谢了。

176387393 发表于 2019-7-8 09:00:36

楼主要先检查出来是哪里漏气，是不是密封圈，那里，最简易的办法是涂抹肥皂水，看哪里冒泡泡，就是哪里漏气。

176387393 发表于 2019-7-8 09:14:27

http://www.cmiw.cn/forum.php?mod=image&aid=484617&size=300x300&key=972b78374ebd2091&nocache=yes&type=fixnone抽真空时，密封条会越压越紧

国统区 发表于 2019-7-8 09:25:30

泄路是绝对的真空泵肯定是频繁启动

前景钱 发表于 2019-7-8 09:55:46

变形量500%？这个变形量很好了吧？
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