小袁好累 发表于 2024-11-19 15:06:35

游离缙云 发表于 2024-7-22 16:26
内壁有没有抛光，焊接是内焊吗，有没有死角储存有空气？

长方体结构的腔室，内表面铝合金材质和304不锈钢都电解抛光过，铝合金电解之前还做了阳极氧化，不清楚这两个表处会不会反应，出现问题

小袁好累 发表于 2024-11-19 15:07:29

小火鹰 发表于 2024-9-5 10:10
烘烤过吗

150度烘烤1小时过

小袁好累 发表于 2025-5-16 13:47:09

gunianyisheng 发表于 2024-7-16 13:28
有没有可能真空内部虚漏

您好，腔体内部没有其他零件，是空腔体，内表面均采用电解抛光处理

小袁好累 发表于 2025-5-16 13:49:03

小火鹰 发表于 2024-9-5 10:10
烘烤过吗

烘烤过，200℃2小时烘烤脱气

机械社区618 发表于 2025-5-19 10:23:55

几个月过去了，你们找到根本原因了吗？

骆马湖铁匠 发表于 2025-7-1 14:33:32

铝合金电解之前还做了阳极氧化，这个有问题，我这边做的腔室和真空门均采用304的，电解抛光，BG值达到5.0E-9Pa.m³/s,要是不计成本的话，最好是316L

菜又爱玩 发表于 2025-7-1 14:39:42

大佬，解决了吗，最后到底是啥问题啊
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